150mm 200mm 6inch 8inch GaN on Silicon Epi-lapisan wafer Gallium nitride epitaxial wafer
Métode manufaktur
Prosés manufaktur ngalibatkeun tumuwuh lapisan GaN dina substrat inten biru ngagunakeun téhnik canggih kayaning déposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) atawa molecular beam epitaxy (MBE). Prosés déposisi dilumangsungkeun dina kaayaan dikawasa pikeun mastikeun kualitas kristal luhur jeung pilem seragam.
Aplikasi GaN-On-Sapphire 6 inci: Chip substrat inten biru 6 inci seueur dianggo dina komunikasi gelombang mikro, sistem radar, téknologi nirkabel sareng optoeléktronik.
Sababaraha aplikasi umum ngawengku
1. Rf panguat kakuatan
2. industri cahaya LED
3. Alat komunikasi jaringan nirkabel
4. Alat éléktronik dina lingkungan suhu luhur
5. Alat optoeléktronik
spésifikasi produk
- Ukuran: Diaméter substrat nyaéta 6 inci (kira-kira 150 mm).
- Kualitas permukaan: Beungeutna parantos digosok pikeun nyayogikeun kualitas eunteung anu saé.
- Kandel: The ketebalan lapisan GaN bisa ngaropéa nurutkeun sarat husus.
- Bungkusan: Substrat sacara saksama dipak ku bahan anti statik pikeun nyegah karusakan nalika transportasi.
- Positioning edges: Substrat ngabogaan edges positioning husus nu mempermudah alignment sarta operasi salila persiapan alat.
- Parameter séjén: Parameter spésifik sapertos ipis, résistansi sareng konsentrasi doping tiasa disaluyukeun dumasar kana sarat palanggan.
Kalayan sipat bahan anu unggul sareng aplikasi anu rupa-rupa, wafer substrat inten biru 6 inci mangrupikeun pilihan anu dipercaya pikeun pamekaran alat semikonduktor berprestasi tinggi dina sagala rupa industri.
Substrat | 6" 1mm <111> p-tipe Si | 6" 1mm <111> p-tipe Si |
Epi TebalAvg | ~5 emh | ~7 emh |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
ruku | +/- 45um | +/- 45um |
Ngarérét | <5 mm | <5 mm |
BV nangtung | > 1000V | > 1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT TebalAvg | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN Cap | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mobilitas | ~ 2000 cm2/Vs (<2%) | ~ 2000 cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |