Ingot SiC 2 inci Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

SiC Kristal Tumuwuh Téhnologi

Karakteristik SiC ngajadikeun hésé tumuwuh kristal tunggal. Ieu utamana alatan kanyataan yén teu aya fase cair jeung rasio stoikiometri Si: C = 1: 1 dina tekanan atmosfir, sarta teu mungkin tumuwuh SiC ku métode tumuwuh leuwih dewasa, kayaning metoda gambar langsung jeung métode crucible ragrag, nu mangrupakeun andalan industri semikonduktor. Sacara téoritis, leyuran kalawan babandingan stoikiometri Si: C = 1: 1 ngan bisa dimeunangkeun lamun tekanan leuwih gede ti 10E5atm jeung hawa leuwih luhur ti 3200 ℃. Ayeuna, metodeu utama kalebet metode PVT, metode fase cair, sareng metode déposisi kimia fase uap suhu luhur.

Wafers sareng kristal SiC anu kami sasadiakeun utamina ditumbuh ku angkutan uap fisik (PVT), sareng ieu mangrupikeun perkenalan ringkes kana PVT:

Métode angkutan uap fisik (PVT) asalna tina téknik sublimasi fase gas anu diciptakeun ku Lely di 1955, dimana bubuk SiC disimpen dina tabung grafit sareng dipanaskeun dugi ka suhu anu luhur pikeun ngajantenkeun bubuk SiC terurai sareng disublimasi, teras grafit. tabung ieu leuwih tiis handap, sarta komponén gas-fase decomposed bubuk SiC disimpen na crystallized salaku kristal SiC di wewengkon sabudeureun tube grafit. Sanajan metoda ieu hese pikeun ménta badag-ukuran SiC kristal tunggal jeung prosés déposisi jero tube grafit hese ngadalikeun, éta nyadiakeun gagasan pikeun panalungtik saterusna.

YM Tairov et al. di Rusia ngawanohkeun konsép kristal cikal dina dasar ieu, nu direngsekeun masalah bentuk kristal teu kaampeuh jeung posisi nucleation tina kristal SiC. Panaliti saterasna terus ningkatkeun sareng pamustunganana ngembangkeun metode transfer uap fisik (PVT) anu dianggo dina industri ayeuna.

Salaku métode pertumbuhan kristal SiC pangheubeulna, PVT ayeuna metoda tumuwuhna paling mainstream pikeun kristal SiC. Dibandingkeun sareng metode anu sanés, metode ieu ngagaduhan syarat anu rendah pikeun alat-alat kamekaran, prosés kamekaran saderhana, kontrol anu kuat, pamekaran sareng panalungtikan anu lengkep, sareng parantos industri.