4inch 6inch Litium niobate pilem kristal tunggal LNOI wafer
Prosés persiapan bahan LNOI utamana dibagi kana opat léngkah di handap ieu
(1) Anjeunna ion anu nyuntik kana X-cut bahan litium niobate dina énergi nu tangtu, sarta diwanohkeun kana lapisan cacad dina jero tangtu handap lapisan permukaan litium niobate;
(2) Bahan ion litium niobate implanted kabeungkeut kana substrat silikon kalawan lapisan oksida pikeun ngabentuk struktur beungkeutan;
(3) Struktur beungkeutan ieu annealed sangkan defects diwanohkeun ku implantation ion He mekar tur agrégat pikeun ngabentuk retakan. Tungtungna, litium niobate dipisahkeun sapanjang lapisan cacad pikeun ngabentuk sésa-sésa irisan litium niobate sareng wafer LNOI.
Aplikasi sareng kaunggulan wafer LNOI
1--Litium niobate film piezoelektrik (LNOI) gaduh koefisien piezoelektrik anu luhur sareng konstanta diéléktrik, anu tiasa ngarobih énergi mékanis kana énergi listrik atanapi énergi listrik kana énergi mékanis. Ku alatan éta, éta loba dipaké dina widang sensor, kayaning sensor tekanan, sensor akselerasi, sensor suhu jeung saterusna. Salaku tambahan, pilem piezoelectric litium niobate ogé tiasa dianggo dina alat akustik sareng alat geter, sapertos piezoelectric keramik transduser kompleks piezoelectric filter keramik.
2-The stabilitas pilem piezoelektrik litium niobate ogé salah sahiji kaunggulan na. Kusabab stabilitas struktur kristal sarta inertness kimiawi, pilem piezoelektrik litium niobate tiasa dianggo dina suhu luhur, kalembaban anu luhur, asam kuat, alkali kuat sarta lingkungan kasar lianna, kalawan résistansi korosi alus tur durability.
3-Litium niobate pilem piezoelectric mangrupakeun bahan piezoelectric anyar kalawan kinerja alus teuing jeung stabilitas, sarta ngabogaan prospek aplikasi lega. Kalayan pamekaran sains sareng téknologi anu terus-terusan, pilem piezoelektrik litium niobate bakal diterapkeun di langkung seueur kota, ngajantenkeun langkung genah sareng inovasi pikeun kahirupan masarakat.