Éféktor Tungtung Keramik Alumina Kinerja Tinggi (Panangan Garpu) pikeun Semikonduktor sareng Otomatisasi Kamar Bersih
Diagram lengkep


Bubuka produk

The Alumina Ceramic End Effector, ogé disebut salaku panangan garpu keramik atawa leungeun keramik robotic, mangrupakeun komponén penanganan precision tinggi dirancang pikeun sistem otomatis dina semikonduktor, photovoltaic, tampilan panel, sarta lingkungan laboratorium purity tinggi. Éta direkayasa pikeun nyayogikeun stabilitas termal anu luar biasa, kaku mékanis, sareng résistansi kimia, nawiskeun angkutan anu bersih, dipercaya, sareng aman tina bahan sénsitip sapertos wafer silikon, substrat kaca, sareng komponén mikro éléktronik.
Salaku tipe effector tungtung robotic, komponén keramik ieu panganteur final antara sistem automation jeung workpiece nu. Ieu muterkeun hiji peran kritis dina mindahkeun precision, alignment, loading / unloading, sarta tugas positioning di cleanrooms jeung lingkungan vakum.
Tinjauan Bahan - Keramik Alumina (Al₂O₃)
Keramik alumina mangrupikeun bahan keramik téknis anu stabil pisan sareng kimia inert anu dipikanyaho pikeun sipat mékanis sareng listrik anu saé. The-purity tinggi (≥ 99,5%) alumina dipaké dina effectors tungtung ieu ensures:
-
Teu karasa luhur (Mohs 9): Kadua ukur pikeun inten, alumina nyadiakeun résistansi maké ekstrim.
-
Kamampuhan suhu luhur: Ngajaga integritas struktural luhur 1600°C.
-
Inersia kimiawi: Tahan ka asam, alkali, pangleyur, sareng lingkungan etching plasma.
-
insulasi listrik: Kalawan kakuatan diéléktrik tinggi na leungitna diéléktrik low.
-
ékspansi termal low: Mastikeun stabilitas dimensi dina lingkungan siklus termal.
-
Generasi partikel low: Penting pikeun kasaluyuan cleanroom (Kelas 10 nepi ka Kelas 1000).
Fitur-fitur ieu ngajantenkeun keramik alumina idéal pikeun operasi kritis-misi dina industri anu sénsitip kontaminasi.
Aplikasi Fungsional
Éféktor tungtung keramik alumina sacara lega diadopsi dina prosés industri téknologi tinggi, khususna dimana bahan logam atanapi plastik tradisional murag pondok kusabab ékspansi termal, kontaminasi, atanapi masalah korosi. Widang aplikasi konci kalebet:
- Mindahkeun wafer semikonduktor
- Photolithography loading na unloading sistem
- Penanganan substrat kaca dina garis OLED sareng LCD
- Transfer wafer silikon kristalin dina produksi sél surya
- Inspeksi optik atanapi microelectronic otomatis
- Angkutan sampel di laboratorium analitik atanapi biomedis
- Sistem otomatisasi lingkungan vakum
Kamampuhan pikeun ngalakukeun tanpa ngenalkeun partikel atanapi muatan statik ngajadikeun éta penting pisan pikeun operasi robotik anu tepat dina otomatisasi kamar bersih.

Fitur Desain & Kustomisasi
Unggal effector tungtung keramik direkayasa pikeun nyocogkeun panangan robotic husus atawa sistem penanganan wafer. Kami ngadukung kustomisasi pinuh dumasar kana:
-
Kasaluyuan ukuran wafer: 2", 4", 6", 8", 12" jeung leuwih
-
géométri slot jeung jarak: Nampung cecekelan ujung, dukungan sisi tukang, atanapi desain wafer notched
-
palabuhan nyeuseup: liang vakum terpadu atawa saluran pikeun penanganan non-kontak
-
Konfigurasi pamasangan: liang , threads, slot tailored ka flange alat tungtung robot Anjeun
-
Perlakuan permukaan: Dipoles, lapped, atawa finish taneuh halus (Ra < 0,2 µm sadia)
-
Perlindungan tepi: sudut rounded atanapi chamfering ulah karuksakan wafer
Ku ngagunakeun gambar CAD atanapi modél 3D anu disayogikeun ku para nasabah, insinyur urang tiasa ngaoptimalkeun unggal panangan garpu pikeun beurat, kakuatan, sareng kabersihan.

Kaunggulan tina Éféktor Ujung Keramik
Fitur | Mangpaat |
---|---|
Kaku Mechanical High | Ngajaga precision dimensi dina gaya loading robotic |
Performance Thermal alus teuing | Ngalaksanakeun reliably dina suhu luhur atawa lingkungan plasma |
Nol Kontaminasi Metal | Taya résiko kontaminasi ion dina ngolah semikonduktor kritis |
Permukaan Gesekan Low | Ngurangan résiko scratch on wafer atawa substrat kaca |
Anti-statik jeung Non-Magnétik | Teu narik lebu atawa mangaruhan komponén magnét-sénsitip |
Long Service Kahirupan | Résistansi ngagem unggul dina siklus automation-speed tinggi repetitive |
kasaluyuan Ultra-Beresih | Cocog jeung kamar bersih ISO 14644 (Kelas 100 sareng handap) |
Dibandingkeun sareng palastik atanapi panangan aluminium, keramik alumina nyayogikeun stabilitas kimia sareng fisik anu nyirorot kalayan syarat pangropéa minimal.
Harta | Panangan Logam | Panangan Plastik | Panangan Keramik Alumina |
---|---|---|---|
Teu karasa | Sedeng | Lemah | Luhur pisan (Mohs 9) |
Stabilitas termal | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
Résistansi Kimia | Sedeng | goréng | alus teuing |
Kesesuaian Kamar Bersih | Sedeng | Lemah | Luhur pisan |
Ngagem Résistansi | Sedeng | Lemah | Pinunjul |
Kakuatan diéléktrik | Lemah | Sedeng | Luhur |
Custom Machining Precision | kawates | Sedeng | Luhur (± 0.01mm mungkin) |
Spésifikasi teknis
Parameter | Nilai |
---|---|
Bahan | Alumina kamurnian luhur (≥ 99,5%) |
Suhu Gawé | Nepi ka 1600 ° C |
Kakasaran Permukaan | Ra ≤ 0,2 µm (opsional) |
Ukuran Wafer cocog | 2 "pikeun 12" atanapi custom |
Kasabaran Flatness | ± 0,01 mm (gumantung aplikasi) |
Rojongan nyeuseup vakum | Pilihan, saluran customizable |
Pilihan Pamasangan | Bolt-liwat, flange, liang slotted |
Patarosan anu Sering Ditaroskeun (FAQ)
Q1: Naha efektor tungtung tiasa diintegrasikeun kana sistem robotik anu tos aya?
A1:Sumuhun. Kami ngadukung kustomisasi dumasar kana antarmuka robotik anjeun. Anjeun tiasa ngirim kami gambar CAD atanapi dimensi flange pikeun adaptasi tepat.
Q2: Naha panangan keramik bakal gampang rusak nalika dianggo?
A2:Nalika keramik rapuh sacara alami, desain kami nganggo géométri anu dioptimalkeun pikeun ngaleutikan konsentrasi setrés. Dina kaayaan pamakean anu leres, aranjeunna nyayogikeun umur jasa anu langkung panjang tibatan logam atanapi plastik.
Q3: Naha mungkin ngagunakeun ieu dina vakum ultra-luhur atanapi kamar etching plasma?
A3:Sumuhun. Keramik alumina nyaéta non-outgassing, thermally stabil, sarta tahan korosi-sampurna cocog pikeun vakum tinggi, gas réaktif, atawa lingkungan plasma.
Q4: Kumaha komponén ieu cleaned atawa dijaga?
A4:Éta tiasa dibersihkeun nganggo cai DI, alkohol, atanapi deterjen anu cocog sareng kamar bersih. Henteu aya pangropéa khusus anu diperyogikeun kusabab stabilitas kimiawi sareng permukaan inert.
Tentang Kami
XKH specializes dina ngembangkeun tinggi-tech, produksi, sarta jualan kaca optik husus sarta bahan kristal anyar. Produk kami ngalayanan éléktronika optik, éléktronika konsumen, sareng militér. Kami nawiskeun komponén optik Sapphire, panutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, sareng wafer kristal semikonduktor. Kalayan kaahlian terampil sareng alat-alat canggih, kami unggul dina ngolah produk non-standar, tujuanana janten perusahaan téknologi tinggi bahan optoeléktronik anu unggul.
