Wafer LNOI (Insulator Lithium Niobate) Panginderaan Télékomunikasi Éléktro-Optik Luhur
Diagram Lengkep
Tinjauan
Di jero kotak wafer aya alur simetris, anu diménsina seragam pisan pikeun ngadukung dua sisi wafer. Kotak kristal umumna didamel tina bahan PP plastik transparan anu tahan kana suhu, karusakan, sareng listrik statis. Warna aditif anu béda-béda dianggo pikeun ngabédakeun segmen prosés logam dina produksi semikonduktor. Kusabab ukuran konci semikonduktor anu alit, pola anu padet, sareng sarat ukuran partikel anu ketat pisan dina produksi, kotak wafer kedah dijamin lingkungan anu bersih pikeun nyambung ka rohangan réaksi kotak lingkungan mikro tina mesin produksi anu béda-béda.
Metodologi Fabrikasi
Pabrikasi wafer LNOI diwangun ku sababaraha léngkah anu tepat:
Léngkah 1: Implantasi Ion HéliumIon hélium diasupkeun kana kristal LN massal nganggo implanter ion. Ion-ion ieu nyangkut dina jerona anu khusus, ngabentuk bidang anu lemah anu antukna bakal ngagampangkeun pelepasan pilem.
Léngkah 2: Pembentukan Substrat DasarWafer silikon atanapi LN anu misah dioksidasi atanapi dilapis ku SiO2 nganggo PECVD atanapi oksidasi termal. Beungeut luhurna diratakeun pikeun beungkeutan anu optimal.
Léngkah 3: Ngabeungkeut LN kana SubstratKristal LN anu diimplantasi ku ion dibalikkeun teras dipasangkeun kana wafer dasar nganggo beungkeutan wafer langsung. Dina setélan panalungtikan, benzosiklobutena (BCB) tiasa dianggo salaku perekat pikeun ngagampangkeun beungkeutan dina kaayaan anu kirang ketat.
Léngkah 4: Perawatan Termal sareng Pamisahan FilmAnnealing ngaktipkeun formasi gelembung dina jerona anu diimplantasi, ngamungkinkeun pamisahan pilem ipis (lapisan LN luhur) tina bulk. Gaya mékanis dianggo pikeun ngalengkepan pengelupasan kulit.
Léngkah 5: Ngagosok BeungeutPemolesan Mékanik Kimia (CMP) diterapkeun pikeun ngahalusan permukaan LN luhur, ningkatkeun kualitas optik sareng hasil alat.
Parameter Téknis
| Bahan | Optik Kelas LiNbO3 wafes (Bodas or Hideung) | |
| Kurie Suhu | 1142±0.7℃ | |
| Motong Sudut | X/Y/Z jsb. | |
| Diaméter/ukuran | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0,20 mm ±0,005 mm | |
| Kandel | 0,18 ~ 0,5mm atanapi langkung | |
| Utama Datar | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Busur | -30 | |
| Bengkok | <40μm | |
| Orientasi Datar | Sadayana sayogi | |
| Beungeut Tipe | Sisi Tunggal Dipoles (SSP)/Sisi Ganda Dipoles (DSP) | |
| Dipoles sisi Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Tepi Kriteria | R=0.2mm Tipe-C or Irung banténg | |
| Kualitas | Gratis of retakan (gelembung jeung inklusi) | |
| Optik didoping | Mg/Fe/Zn/MgO jsb kanggo optik kelas LN wafer per dipénta | |
| Wafer Beungeut Kriteria | Indéks réfraktif | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm métode pangiket panjang gelombang/prisma. |
| Kontaminasi, | Teu aya | |
| Partikel c>0.3μ m | <=30 | |
| Goresan, Retakan | Teu aya | |
| Cacad | Teu aya retakan sisi, goresan, tanda gergaji, noda | |
| Bungkusan | Jumlah/Kotak Wafer | 25pcs per kotak |
Kasus Pamakéan
Kusabab serbaguna sareng kinerjana, LNOI dianggo di sababaraha industri:
Fotonik:Modulator kompak, multiplexer, sareng sirkuit fotonik.
RF/Akustik:Modulator akusto-optik, saringan RF.
Komputasi Kuantum:Mixer frékuénsi nonlinier sareng generator pasangan foton.
Pertahanan & Dirgantara:Giros optik rugi-rugi rendah, alat panggeser frékuénsi.
Alat-alat Médis:Biosensor optik sareng probe sinyal frékuénsi luhur.
FAQ
P: Naha LNOI langkung dipikaresep tibatan SOI dina sistem optik?
A:LNOI ngagaduhan koéfisién éléktro-optik anu unggul sareng rentang transparansi anu langkung lega, anu ngamungkinkeun kinerja anu langkung luhur dina sirkuit fotonik.
Q: Naha CMP wajib saatos pamisahan?
A:Muhun. Beungeut LN anu kakeunaan kasar saatos diiris ion sareng kedah dipoles pikeun nyumponan spésifikasi kelas optik.
Q: Sabaraha ukuran wafer maksimum anu sayogi?
A:Wafer LNOI komérsial utamina ukuran 3" sareng 4", sanaos sababaraha supplier nuju ngembangkeun varian 6".
Q: Naha lapisan LN tiasa dianggo deui saatos pamisahan?
A:Kristal dasar tiasa dipoles deui sareng dianggo deui sababaraha kali, sanaos kualitasna tiasa turun saatos sababaraha siklus.
P: Naha wafer LNOI cocog sareng pamrosésan CMOS?
A:Muhun, éta dirancang pikeun saluyu sareng prosés fabrikasi semikonduktor konvensional, khususna nalika substrat silikon dianggo.
