Peralatan téknologi laser Microjet motong wafer ngolah bahan SiC

Pakakas téknologi laser microjet motong wafer ngolah bahan SiC Gambar Unggulan

Pedaran Singkat:

Peralatan téknologi laser microjet nyaéta sistem mesin presisi anu ngagabungkeun laser énergi tinggi sareng jet cair tingkat mikron. Ku cara ngahubungkeun sinar laser kana jet cair kecepatan tinggi (cai deionisasi atanapi cairan khusus), pamrosésan bahan kalayan presisi tinggi sareng karusakan termal anu handap tiasa diwujudkeun. Téhnologi ieu khususna cocog pikeun motong, ngebor sareng pamrosésan mikrostruktur bahan keras sareng rapuh (sapertos SiC, safir, kaca), sareng seueur dianggo dina semikonduktor, tampilan fotolistrik, alat médis sareng widang sanésna.

Kirim email ka kami

Fitur

Prinsip gawé:

1. Kopling laser: laser pulsa (UV/héjo/infra beureum) difokuskeun di jero jet cair pikeun ngabentuk saluran transmisi énergi anu stabil.

2. Pituduh cairan: jet kecepatan tinggi (laju aliran 50-200m/s) niiskeun daérah pamrosésan sareng miceun runtah pikeun nyingkahan akumulasi panas sareng polusi.

3. Ngaleungitkeun bahan: Énergi laser nyababkeun éfék kavitasi dina cairan pikeun ngahontal pamrosésan tiis bahan (zona anu kapangaruhan panas <1μm).

4. Kontrol dinamis: pangaturan parameter laser (kakuatan, frékuénsi) sareng tekanan jet sacara real-time pikeun minuhan kabutuhan bahan sareng struktur anu béda.

Parameter konci:

1. Kakuatan laser: 10-500W (tiasa disaluyukeun)

2. Diaméter jet: 50-300μm

3. Akurasi mesin: ±0.5μm (motong), babandingan jerona jeung lébar 10:1 (pangeboran)

Kaunggulan téknis:

(1) Ampir teu aya karusakan panas
- Pendinginan jet cair ngontrol zona anu kapangaruhan panas (HAZ) dugi ka **<1μm**, nyingkahan retakan mikro anu disababkeun ku pamrosésan laser konvensional (HAZ biasana >10μm).

(2) Mesin presisi ultra-luhur
- Akurasi motong/ngebor nepi ka **±0.5μm**, karasana sisi Ra<0.2μm, ngurangan kabutuhan pikeun ngagosok salajengna.

- Ngarojong pamrosésan struktur 3D anu kompléks (sapertos liang kerucut, liang anu dibentuk).

(3) Kompatibilitas bahan anu lega
- Bahan anu teuas sareng gampang rapuh: SiC, safir, kaca, keramik (métode tradisional gampang pecah).

- Bahan anu sénsitip kana panas: polimér, jaringan biologis (teu aya résiko dénaturasi termal).

(4) Perlindungan sareng efisiensi lingkungan
- Teu aya polusi lebu, cairan tiasa didaur ulang sareng disaring.

- Kanaékan kecepatan pamrosésan 30%-50% (dibandingkeun sareng pamrosésan).

(5) Kontrol anu cerdas
- Optimasi posisi visual sareng parameter AI anu terintegrasi, ketebalan sareng cacad bahan adaptif.

Spésifikasi téknis：

Volume méja luhur	300300150	400400200
Sumbu linier XY	Motor linier. Motor linier	Motor linier. Motor linier
Sumbu linier Z	150	200
Akurasi posisi μm	+/-5	+/-5
Akurasi posisi anu diulang μm	+/-2	+/-2
Akselerasi G	1	0.29
Kontrol numerik	3 sumbu /3+1 sumbu /3+2 sumbu	3 sumbu /3+1 sumbu /3+2 sumbu
Jenis kontrol numerik	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Panjang gelombang nm	532/1064	532/1064
Kakuatan anu dipeunteun W	50/100/200	50/100/200
Jet cai	40-100	40-100
Batang tekanan nozzle	50-100	50-600
Diménsi (mesin) (lébar * panjang * jangkungna) mm	144519442260	170015002120
Ukuran (kabinet kontrol) (L * P * T)	70025001600	70025001600
Beurat (pakakas) T	2.5	3
Beurat (kabinet kontrol) KG	800	800
Kamampuh ngolah	Karasana permukaan Ra≤1.6um Laju muka ≥1.25mm/s Motong keliling ≥6mm/s Laju motong linier ≥50mm/s	Karasana permukaan Ra≤1.2um Laju muka ≥1.25mm/s Motong keliling ≥6mm/s Laju motong linier ≥50mm/s
	Pikeun kristal galium nitrida, bahan semikonduktor celah pita ultra-lega (intan/Gallium oksida), bahan khusus aerospace, substrat keramik karbon LTCC, fotovoltaik, kristal sintilator sareng pamrosésan bahan sanésna. Catetan: Kapasitas pamrosésan rupa-rupa gumantung kana karakteristik bahan

Kasus pamrosésan:

Layanan XKH:

XKH nyayogikeun rupa-rupa dukungan layanan siklus hirup lengkep pikeun peralatan téknologi laser microjet, ti mimiti pamekaran prosés sareng konsultasi pilihan peralatan, dugi ka integrasi sistem khusus jangka menengah (kalebet cocog khusus sumber laser, sistem jet sareng modul otomatisasi), dugi ka pelatihan operasi sareng pangropéa engké sareng optimasi prosés kontinyu, sakumna prosés dilengkepan ku dukungan tim téknis profésional; Dumasar kana 20 taun pangalaman mesin presisi, kami tiasa nyayogikeun solusi hiji-eureun kalebet verifikasi peralatan, bubuka produksi massal sareng réspon gancang saatos penjualan (24 jam dukungan téknis + cadangan suku cadang konci) pikeun industri anu béda sapertos semikonduktor sareng médis, sareng jangji garansi 12 bulan sareng layanan pangropéa sareng pamutahiran salami hirup. Pastikeun yén peralatan palanggan salawasna ngajaga kinerja sareng stabilitas pamrosésan anu unggul dina industri.