Substrat silikon karbida dibagi kana jinis semi-insulasi sareng jinis konduktif. Ayeuna, spésifikasi mainstream produk substrat silikon carbide semi-insulated nyaéta 4 inci. Dina pasar silikon karbida konduktif, spésifikasi produk substrat mainstream ayeuna nyaéta 6 inci.
Kusabab aplikasi hilir dina widang RF, substrat SiC semi-insulated sareng bahan epitaxial tunduk kana kontrol ékspor ku Departemen Perdagangan AS. SiC semi-insulated salaku substrat mangrupikeun bahan anu dipikaresep pikeun GaN heteroepitaxy sareng gaduh prospek aplikasi penting dina widang gelombang mikro. Dibandingkeun jeung kristal mismatch of inten biru 14% jeung Si 16.9%, anu mismatch kristal bahan SiC jeung GaN ngan 3.4%. Ditambah ku konduktivitas termal ultra-tinggi SiC, Efisiensi énergi anu luhur LED sareng GaN frekuensi tinggi sareng alat gelombang mikro kakuatan tinggi anu disiapkeun ku éta gaduh kaunggulan anu hébat dina radar, alat gelombang mikro kakuatan tinggi sareng sistem komunikasi 5G.
Panaliti sareng pamekaran substrat SiC semi-insulated sok janten fokus dina panalungtikan sareng pamekaran substrat kristal tunggal SiC. Aya dua kasusah utama dina ngembang bahan SiC semi-insulated:
1) Ngurangan pangotor donor N diwanohkeun ku crucible grafit, adsorption insulasi termal jeung doping dina bubuk;
2) Nalika mastikeun kualitas sareng sipat listrik kristal, pusat tingkat jero diwanohkeun pikeun ngimbangan pangotor tingkat deet residual kalayan kagiatan listrik.
Ayeuna, pabrik kalayan kapasitas produksi semi-insulated SiC utamina SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Kristal SiC conductive kahontal ku nyuntik nitrogén kana atmosfir ngembang. Substrat silikon carbide conductive utamana dipaké dina pembuatan alat kakuatan, alat kakuatan silikon carbide kalawan tegangan tinggi, arus tinggi, suhu luhur, frékuénsi luhur, leungitna lemah sareng kaunggulan unik sejenna, bakal greatly ngaronjatkeun pamakéan aya tina silikon dumasar énergi alat kakuatan. efisiensi konversi, boga dampak signifikan jeung jauh-ngahontal dina widang konversi énergi efisien. Wewengkon aplikasi utama nyaéta kandaraan listrik / tumpukan muatan, énergi anyar photovoltaic, transit rail, grid pinter jeung saterusna. Kusabab hilir produk conductive utamana alat kakuatan dina kandaraan listrik, photovoltaic jeung widang lianna, prospek aplikasi leuwih lega, sarta pabrik leuwih loba.
Jinis kristal silikon karbida: Struktur khas tina karbida silikon kristalin 4H pangsaéna tiasa dibagi jadi dua kategori, hiji nyaéta jinis kristal karbida silikon kubik tina struktur sphalerite, katelah 3C-SiC atanapi β-SiC, sareng anu sanésna nyaéta héksagonal. atawa struktur inten tina struktur période badag, nu has 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, jsb. sacara koléktif katelah α-SiC. 3C-SiC boga kaunggulan résistansi tinggi dina alat manufaktur. Sanajan kitu, mismatch tinggi antara Si jeung SiC konstanta kisi jeung koefisien ékspansi termal bisa ngakibatkeun angka nu gede ngarupakeun defects dina lapisan epitaxial 3C-SiC. 4H-SiC boga poténsi hébat dina manufaktur MOSFETs, sabab tumuwuhna kristal sarta prosés tumuwuhna lapisan epitaxial leuwih alus teuing, sarta dina watesan mobilitas éléktron, 4H-SiC leuwih luhur batan 3C-SiC na 6H-SiC, nyadiakeun ciri microwave hadé pikeun 4H. - MOSFET SiC.
Upami aya palanggaran, kontak ngahapus
waktos pos: Jul-16-2024