Kalayan kamekaran téknologi semikonduktor anu terus-terusan, dina industri semikonduktor sareng bahkan industri fotovoltaik, sarat pikeun kualitas permukaan substrat wafer atanapi lambaran epitaksial ogé ketat pisan. Janten, naon sarat kualitas pikeun wafer? Nyandakwafer safirSalaku conto, indikator naon anu tiasa dianggo pikeun meunteun kualitas permukaan wafer?
Naon waé indikator évaluasi wafer?
Tilu indikator
Pikeun wafer safir, indikator évaluasina nyaéta simpangan ketebalan total (TTV), tikungan (Bow) sareng lungsin (Warp). Tilu parameter ieu babarengan ngagambarkeun kerataan sareng keseragaman ketebalan wafer silikon, sareng tiasa ngukur tingkat riak wafer. Kerutan tiasa digabungkeun sareng kerataan pikeun meunteun kualitas permukaan wafer.
Naon ari TTV, BOW, Warp téh?
TTV (Variasi Ketebalan Total)
TTV nyaéta bédana antara ketebalan maksimum sareng minimum wafer. Parameter ieu mangrupikeun indéks penting anu dianggo pikeun ngukur keseragaman ketebalan wafer. Dina prosés semikonduktor, ketebalan wafer kedah seragam pisan di sakumna permukaan. Pangukuran biasana dilakukeun di lima lokasi dina wafer sareng bédana diitung. Pamustunganana, nilai ieu mangrupikeun dasar anu penting pikeun nangtoskeun kualitas wafer.
Busur
Busur dina manufaktur semikonduktor nujul kana lengkungan wafer, anu ngabébaskeun jarak antara titik tengah wafer anu teu dijepit sareng bidang rujukan. Kecap ieu sigana asalna tina pedaran bentuk hiji objék nalika dibengkokkeun, sapertos bentuk melengkung tina busur. Nilai Busur dihartikeun ku cara ngukur simpangan antara puseur sareng ujung wafer silikon. Nilai ieu biasana dinyatakeun dina mikrométer (µm).
Bengkok
Warp nyaéta sipat global wafer anu ngukur bédana antara jarak maksimum sareng minimum antara tengah wafer anu teu dijepit bébas sareng bidang rujukan. Ngagambarkeun jarak ti permukaan wafer silikon ka bidang.
Naon bédana antara TTV, Bow, Warp?
TTV museur kana parobahan ketebalan sareng henteu paduli kana lenturan atanapi distorsi wafer.
Busur museur kana lengkungan sakabéhna, utamana merhatikeun lengkungan titik tengah sareng sisina.
Lungsi leuwih komprehensif, kaasup ngabengkokkeun jeung muter sakabéh beungeut wafer.
Sanaos tilu parameter ieu aya hubunganana sareng bentuk sareng sipat géométri wafer silikon, éta diukur sareng dijelaskeun sacara béda, sareng pangaruhna kana prosés semikonduktor sareng pamrosésan wafer ogé béda.
Beuki leutik tilu parameterna, beuki alus, jeung beuki gedé parameterna, beuki gedé dampak négatifna kana prosés semikonduktor. Ku kituna, salaku praktisi semikonduktor, urang kudu sadar kana pentingna parameter profil wafer pikeun sakabéh prosés, dina prosés semikonduktor, kudu merhatikeun hal-hal nu leuwih rinci.
（sénsor）
Waktos posting: 24-Jun-2024