Kalawan ngembangkeun sinambung téhnologi semikonduktor, dina industri semikonduktor komo industri photovoltaic, sarat pikeun kualitas permukaan substrat wafer atawa lambar epitaxial ogé ketat pisan. Janten, naon syarat kualitas pikeun wafer? Nyandakwafer sapirs salaku conto, naon indikator bisa dipaké pikeun evaluate kualitas permukaan wafers?
Naon indikator evaluasi wafers?
Tilu indikator
Pikeun wafer inten biru, indikator evaluasina nyaéta simpangan ketebalan total (TTV), bengkok (Bow) sareng Warp (Warp). Tilu parameter ieu babarengan ngagambarkeun flatness jeung ketebalan uniformity tina wafer silikon, sarta bisa ngukur darajat ripple of wafer nu. Corrugation bisa digabungkeun jeung flatness ka evaluate kualitas beungeut wafer.
Naon TTV, BOW, Warp?
TTV (Total Thickness Variation)
TTV nyaéta bédana antara ketebalan maksimum sareng minimum wafer. Parameter ieu mangrupa indéks penting dipaké pikeun ngukur uniformity ketebalan wafer. Dina prosés semikonduktor, ketebalan wafer kedah pisan seragam dina sakumna permukaan. Pangukuran biasana dilakukeun dina lima lokasi dina wafer sareng bédana diitung. Pamustunganana, nilai ieu mangrupa dasar penting pikeun nangtoskeun kualitas wafer nu.
ruku
Bow dina manufaktur semikonduktor nujul kana ngalipet tina wafer a, freeing jarak antara titik tengah wafer unclamped jeung pesawat rujukan. Kecap éta meureun asalna tina katerangan ngeunaan wangun hiji obyék lamun eta bengkok, kawas bentuk melengkung tina ruku. Nilai Bow diartikeun ku cara ngukur simpangan antara puseur jeung ujung wafer silikon. Nilai ieu biasana dinyatakeun dina mikrométer (µm).
Leumpang
Warp mangrupikeun sipat global tina wafer anu ngukur bédana antara jarak maksimum sareng minimum antara tengah wafer anu teu katutup sareng pesawat rujukan. Ngagambarkeun jarak ti beungeut wafer silikon ka pesawat.
Naon bedana TTV, Bow, Warp?
TTV museurkeun kana parobahan ketebalan sarta henteu paduli bending atawa distorsi tina wafer nu.
Ruku museurkeun kana ngalipet sakabéh, utamana tempo ngalipet titik puseur jeung ujung.
Warp leuwih komprehensif, kaasup bending jeung twisting tina sakabéh beungeut wafer.
Sanaos tilu parameter ieu aya hubunganana sareng bentuk sareng sipat géométri tina wafer silikon, aranjeunna diukur sareng dijelaskeun sacara béda, sareng pangaruhna kana prosés semikonduktor sareng pamrosésan wafer ogé béda.
Nu leuwih leutik tilu parameter, nu hadé, jeung nu leuwih gede parameter, nu gede dampak negatif kana prosés semikonduktor. Ku alatan éta, salaku praktisi semikonduktor, urang kudu sadar pentingna parameter profil wafer pikeun sakabéh prosés prosés, ngalakukeun prosés semikonduktor, kudu nengetan rinci.
(censoring)
waktos pos: Jun-24-2024