Naon Maksudna TTV, BOW, WARP, sareng TIR dina Wafers?

Nalika mariksa wafer silikon semikonduktor atanapi substrat anu didamel tina bahan sanés, urang sering mendakan indikator téknis sapertos: TTV, BOW, WARP, sareng kamungkinan TIR, STIR, LTV, sareng anu sanésna. Parameter naon ieu ngagambarkeun?

TTV - Variasi ketebalan total
BUDAK - BUDAK
WARP - Warp
TIR - Jumlah Ditunjukkeun Bacaan
Aduk - Loka Jumlah Ditunjukkeun Bacaan
LTV - Variasi Kandel Lokal

1. Total Kandel variasi - TTV

Beda antara maksimum sarta minimum ketebalan tina wafer relatif ka pesawat rujukan nalika wafer ieu clamped sarta dina kontak nutup. Umumna dinyatakeun dina mikrométer (μm), sering digambarkeun salaku: ≤15 μm.

2. Ruku - Ruku

Simpangan antara jarak minimum jeung maksimum ti titik puseur beungeut wafer ka pesawat rujukan nalika wafer dina kaayaan bébas (unclamp). Ieu ngawengku duanana kerung (ruku négatip) jeung convex (ruku positif) kasus. Biasana dinyatakeun dina mikrométer (μm), sering digambarkeun salaku: ≤40 μm.

3. Warp - Warp

Simpangan antara jarak minimum jeung maksimum ti beungeut wafer ka pesawat rujukan (biasana beungeut tukang wafer nu) lamun wafer dina kaayaan bébas (unclamp). Ieu kalebet kasus kerung (négatif) sareng konvéks (positif). Umumna dinyatakeun dina mikrométer (μm), sering digambarkeun salaku: ≤30 μm.

4. Jumlah Ditunjukkeun Bacaan - TIR

Nalika wafer ieu clamped sarta dina kontak nutup, ngagunakeun pesawat rujukan nu ngaminimalkeun jumlah intercepts sadaya titik dina wewengkon kualitas atawa wewengkon lokal husus dina beungeut wafer, TIR teh simpangan antara jarak maksimum sarta minimum ti beungeut wafer ka pesawat rujukan ieu.

Diadegkeun dina kaahlian jero dina spésifikasi bahan semikonduktor sapertos TTV, BOW, WARP, sareng TIR, XKH nyayogikeun jasa pamrosésan wafer khusus anu cocog sareng standar industri anu ketat. Urang nyadiakeun jeung ngarojong rupa-rupa bahan-kinerja tinggi kaasup inten biru, silikon carbide (SiC), wafers silikon, SOI, sarta quartz, mastikeun flatness luar biasa, konsistensi ketebalan, sarta kualitas permukaan pikeun aplikasi canggih di optelectronics, alat kakuatan, sarta MEMS. Percanten ka kami pikeun nganteurkeun solusi bahan anu dipercaya sareng mesin presisi anu nyumponan syarat desain anu paling nungtut anjeun.