Substrat Safir Berpola PSS 2 inci 4 inci 6 inci ICP dry etching tiasa dianggo pikeun chip LED
Ciri inti
1. Ciri-ciri bahan: Bahan substratna nyaéta safir kristal tunggal (Al₂O₃), kalayan karasana anu luhur, tahan panas anu luhur sareng stabilitas kimiawi.
2. Struktur permukaan: Permukaan dibentuk ku fotolitografi sareng ukiran kana struktur mikro-nano périodik, sapertos kerucut, piramida atanapi susunan heksagonal.
3. Kinerja optik: Ngaliwatan desain pola permukaan, total pantulan cahaya dina antarmuka dikirangan, sareng efisiensi ékstraksi cahaya ningkat.
4. Kinerja termal: Substrat safir ngagaduhan konduktivitas termal anu saé pisan, cocog pikeun aplikasi LED kakuatan tinggi.
5. Spésifikasi ukuran: Ukuran umumna nyaéta 2 inci (50.8mm), 4 inci (100mm) sareng 6 inci (150mm).
Area aplikasi utama
1. Pabrikasi LED:
Efisiensi ékstraksi cahaya anu ningkat: PSS ngirangan leungitna cahaya ngaliwatan desain pola, ningkatkeun kacaangan LED sareng efisiensi cahaya sacara signifikan.
Kualitas pertumbuhan epitaksial anu ningkat: Struktur anu berpola nyayogikeun dasar pertumbuhan anu langkung saé pikeun lapisan epitaksial GaN sareng ningkatkeun kinerja LED.
2. Dioda Laser (LD):
Laser kakuatan luhur: Konduktivitas termal anu luhur sareng stabilitas PSS cocog pikeun dioda laser kakuatan luhur, ningkatkeun kinerja sareng reliabilitas disipasi panas.
Arus ambang handap: Optimalkeun kamekaran epitaksial, ngirangan arus ambang dioda laser, sareng ningkatkeun efisiensi.
3. Fotodetektor:
Sensitivitas anu luhur: Transmisi cahaya anu luhur sareng kapadetan cacad PSS anu handap ningkatkeun sensitivitas sareng kecepatan réspon fotodetektor.
Réspon spéktral anu lega: cocog pikeun deteksi fotoéléktrik dina rentang ultraviolét dugi ka katingali.
4. Éléktronika daya:
Résistansi tegangan luhur: Insulasi sareng stabilitas termal Sapphire anu luhur cocog pikeun alat daya tegangan luhur.
Disipasi panas anu efisien: Konduktivitas termal anu luhur ningkatkeun kinerja disipasi panas alat-alat listrik sareng manjangkeun umur layanan.
5. Alat Rf:
Kinerja frékuénsi luhur: Leungitna dielektrik anu handap sareng stabilitas termal PSS anu luhur cocog pikeun alat RF frékuénsi luhur.
Noise handap: Dataran anu luhur sareng kapadetan cacad anu handap ngirangan noise alat sareng ningkatkeun kualitas sinyal.
6. Biosensor:
Deteksi sensitivitas anu luhur: Transmisi cahaya anu luhur sareng stabilitas kimiawi PSS cocog pikeun biosensor sensitivitas anu luhur.
Biokompatibilitas: Biokompatibilitas safir ngajantenkeun cocog pikeun aplikasi médis sareng biodeteksi.
Substrat safir berpola (PSS) kalayan bahan epitaksial GaN:
Substrat safir berpola (PSS) mangrupikeun substrat anu idéal pikeun pertumbuhan epitaksial GaN (galium nitrida). Konstanta kisi safir caket kana GaN, anu tiasa ngirangan ketidakcocokan kisi sareng cacad dina pertumbuhan epitaksial. Struktur mikro-nano permukaan PSS henteu ngan ukur ningkatkeun efisiensi ékstraksi cahaya, tapi ogé ningkatkeun kualitas kristal lapisan epitaksial GaN, sahingga ningkatkeun kinerja sareng reliabilitas LED.
Parameter téknis
| Barang | Substrat Safir Berpola (2~6 inci) | ||
| Diaméter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Kandel | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientasi Permukaan | C-plane (0001) teu ka arah sumbu M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-plane (0001) teu ka arah sumbu A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Orientasi Datar Utama | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
| Panjang Datar Utama | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Pesawat-R | Jam 9 | ||
| Rengse Permukaan Hareup | Berpola | ||
| Rengse Permukaan Tukang | SSP: Digiling halus, Ra=0.8-1.2um; DSP: Dipoles epi, Ra<0.3nm | ||
| Tanda Laser | Sisi tukang | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| GUNUNG | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| LENGSE | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Pangaluaran Tepi | ≤2 mm | ||
| Spésifikasi Pola | Struktur Wangun | Kubah, Kerucut, Piramida | |
| Jangkungna Pola | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
| Diaméter Pola | 2,75 ~ 2,85μm | ||
| Spasi Pola | 0,1 ~ 0,3 μm | ||
XKH spesialisasi dina nyayogikeun substrat safir (PSS) berpola khusus anu kualitasna luhur kalayan dukungan téknis sareng layanan purna jual pikeun ngabantosan para nasabah ngahontal inovasi anu efisien dina widang LED, tampilan, sareng optoéléktronik.
1. Pasokan PSS kualitas luhur: Substrat safir berpola dina rupa-rupa ukuran (2 ", 4", 6") pikeun minuhan kabutuhan LED, tampilan, sareng alat optoelektronik.
2. Desain khusus: Sesuaikeun struktur mikro-nano permukaan (sapertos kerucut, piramida atanapi susunan heksagonal) numutkeun kabutuhan konsumén pikeun ngaoptimalkeun efisiensi ékstraksi cahaya.
3. Dukungan téknis: Nyayogikeun desain aplikasi PSS, optimasi prosés sareng konsultasi téknis pikeun ngabantosan para nasabah ningkatkeun kinerja produk.
4. Pangrojong kamekaran épitaksial: PSS anu cocog sareng bahan épitaksial GaN disayogikeun pikeun mastikeun kamekaran lapisan épitaksial anu kualitasna luhur.
5. Tés sareng sertifikasi: Nyayogikeun laporan pamariksaan kualitas PSS pikeun mastikeun yén produk nyumponan standar industri.
Diagram Lengkep







