SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Penanganan Precision Advanced pikeun Pabrikan Semikonduktor

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Penanganan Precision Canggih pikeun Gambar Ditampilkeun Pabrikan Semikonduktor

Katerangan pondok:

The SiC Ceramic Fork Arm, sering disebut salaku Éféktor Tungtung Keramik, mangrupikeun komponén penanganan presisi-kinerja tinggi khusus dikembangkeun pikeun angkutan wafer, alignment, sareng posisi dina industri téknologi tinggi, khususna dina produksi semikonduktor sareng fotovoltaik. Didamel nganggo keramik silikon karbida anu murni, komponén ieu ngagabungkeun kakuatan mékanis anu luar biasa, ékspansi termal ultra-rendah, sareng résistansi anu unggul pikeun shock termal sareng korosi.

Kirim surélék ka kami

Fitur

Diagram lengkep

Tinjauan produk

Beda sareng efektor tungtung tradisional anu didamel tina aluminium, stainless steel, atanapi bahkan kuarsa, efektor tungtung keramik SiC nawiskeun prestasi anu teu cocog dina kamar vakum, kamar bersih, sareng lingkungan pamrosésan anu parah, ngajantenkeun aranjeunna janten bagian konci pikeun robot penanganan wafer generasi salajengna. Kalayan paningkatan paménta pikeun produksi bebas kontaminasi sareng kasabaran anu langkung ketat dina pembuatan chip, panggunaan éféktor tungtung keramik gancang janten standar industri.

Prinsip Manufaktur

Fabrikasi tinaSiC keramik tungtung Effectorsngalibatkeun runtuyan-precision tinggi, prosés purity tinggi nu mastikeun duanana kinerja sarta durability. Dua prosés utama biasana dianggo:

Réaksi-kabeungkeut Silicon Carbide (RB-SiC)

Dina prosés ieu, hiji preform dijieun tina bubuk silikon carbide jeung binder ieu infiltrated kalawan silikon molten dina suhu luhur (~ 1500 ° C), nu meta jeung karbon residual pikeun ngabentuk padet, kaku SiC-Si komposit. Metoda ieu nawiskeun kontrol dimensi anu saé sareng biaya-éféktif pikeun produksi skala ageung.

Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan (SSiC)

SSiC dijieun ku sintering bubuk SiC ultra-halus, purity tinggi dina suhu pisan luhur (> 2000 ° C) tanpa ngagunakeun aditif atawa fase mengikat. Ieu nyababkeun produk anu ampir 100% kapadetan sareng sipat mékanis sareng termal pangluhurna anu aya diantara bahan SiC. Éta idéal pikeun aplikasi penanganan wafer ultra-kritis.

Pos-Processing

Precision CNC Machining: Ngahontal flatness luhur sarta paralelisme.
Permukaan Finishing: Inten polishing ngurangan roughness permukaan ka <0,02 µm.
Pamariksaan: Interferométri optik, CMM, sareng tés non-destructive dianggo pikeun pariksa unggal potongan.

Léngkah ieu ngajamin yénÉféktor tungtung SiCnganteurkeun akurasi panempatan wafer konsisten, planarity alus teuing, jeung generasi partikel minimal.

Fitur konci jeung Mangpaat

Fitur	Katerangan
Ultra-High karasa	Vickers karasa > 2500 HV, nolak maké jeung chipping.
Ékspansi Thermal Low	CTE ~ 4,5 × 10⁻⁶ / K, ngamungkinkeun stabilitas diménsi dina siklus termal.
Inersia Kimia	Tahan ka HF, HCl, gas plasma, jeung agén corrosive séjén.
Résistansi Shock Termal anu saé	Cocog jeung pemanasan gancang / cooling dina vakum jeung sistem tungku.
Kaku jeung Kakuatan High	Ngarojong leungeun garpu cantilevered panjang tanpa deflection.
Low Gassing	Idéal pikeun lingkungan vakum ultra-tinggi (UHV).
ISO Kelas 1 Cleanroom Siap	Operasi partikel-gratis ensures integritas wafer.

Aplikasi

The SiC Ceramic Fork Arm / End Effector loba dipaké dina industri anu merlukeun precision ekstrim, kabersihan, sarta lalawanan kimiawi. Skenario aplikasi konci kalebet:

Manufaktur Semikonduktor

Wafer loading / unloading di déposisi (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE), sarta sistem beberesih.
Angkutan wafer robot antara FOUP, kaset, sareng alat prosés.
Penanganan suhu luhur nalika ngolah termal atanapi annealing.

Produksi Sél Photovoltaic

Angkutan hipu wafer silikon rapuh atanapi substrat surya dina jalur otomatis.

Datar Panel Témbongkeun (FPD) Industri

Mindahkeun panel kaca ageung atanapi substrat dina lingkungan produksi OLED/LCD.

Sanyawa Semikonduktor / MEMS

Dipaké dina garis fabrikasi GaN, SiC, sareng MEMS dimana kontrol kontaminasi sareng akurasi posisi penting pisan.

Peran éféktor ahirna penting pisan pikeun mastikeun pananganan stabil tanpa cacad salami operasi sénsitip.

Kamampuhan kustomisasi

Kami nawiskeun kustomisasi éksténsif pikeun nyumponan rupa-rupa alat sareng syarat prosés:

Desain garpu: Dua-prong, multi-ramo, atawa perenah tingkat pamisah.
Kasaluyuan Ukuran Wafer: Ti 2 "pikeun 12" wafers.
Pamasangan Interfaces: Cocog jeung leungeun robot OEM.
Kandel & Toleransi Permukaan: Micron-tingkat flatness na rounding ujung sadia.
Fitur Anti-Slip: tékstur permukaan pilihan atawa coatings pikeun cekelan wafer aman.

Masing-masingeffector tungtung keramikdirarancang sareng klien pikeun mastikeun pas anu pas sareng parobihan alat anu minimal.

Patarosan anu Sering Ditaroskeun (FAQ)

Q1: Kumaha SiC hadé ti quartz pikeun aplikasi effector tungtung?
A1:Bari quartz ilahar dipaké pikeun purity na, éta lacks kateguhan mékanis jeung rawan pegatna dina beban atawa shock suhu. SiC nawiskeun kakuatan unggul, résistansi ngagem, sareng stabilitas termal, sacara signifikan ngirangan résiko downtime sareng karusakan wafer.

Q2: Naha panangan garpu keramik ieu cocog sareng sadaya pawang wafer robotic?
A2:Leres, éféktor tungtung keramik kami cocog sareng kalolobaan sistem penanganan wafer utama sareng tiasa diadaptasi kana modél robotik khusus anjeun kalayan gambar rékayasa anu tepat.

Q3: Dupi éta tiasa ngadamel 300 mm wafers tanpa warping?
A3:Leres pisan. Kaku anu luhur tina SiC ngamungkinkeun panangan garpu anu ipis sareng panjang nahan wafer 300 mm kalayan aman tanpa kendur atanapi defleksi nalika gerak.

Q4: What is the has hirup jasa has a SiC keramik tungtung effector?
A4:Kalayan pamakean anu leres, efektor tungtung SiC tiasa tahan 5 dugi ka 10 kali langkung lami tibatan modél quartz atanapi aluminium tradisional, hatur nuhun kana résistansi anu saé pikeun setrés termal sareng mékanis.

Q5: Naha anjeun nawiskeun ngagantian atanapi jasa prototyping gancang?
A5:Leres, kami ngadukung produksi sampel gancang sareng nawiskeun jasa ngagantian dumasar kana gambar CAD atanapi bagian anu direkayasa sabalikna tina alat anu tos aya.

Tentang Kami

XKH specializes dina ngembangkeun tinggi-tech, produksi, sarta jualan kaca optik husus sarta bahan kristal anyar. Produk kami ngalayanan éléktronika optik, éléktronika konsumen, sareng militér. Kami nawiskeun komponén optik Sapphire, panutup lensa ponsel, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, sareng wafer kristal semikonduktor. Kalayan kaahlian terampil sareng alat-alat canggih, kami unggul dina ngolah produk non-standar, tujuanana janten perusahaan téknologi tinggi bahan optoeléktronik anu unggul.