SiC keramik baki plat grafit jeung palapis CVD SiC pikeun alat-alat

SiC keramik baki plat grafit jeung palapis CVD SiC pikeun parabot Feature Gambar

Katerangan pondok:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. ngahasilkeun Φ380mm–Φ600mm semikonduktor etching disk, wafer bearing disk, silikon carbide baki, SIC baki, silikon carbide baki, ICP etching baki, etching baki, silikon carbide purity> 99.9%, SIC baki hirup jasa nyaeta opat kali tina baki CVD basis grafit, pamakéan jangka panjang tanpa deformasi, Tahan ka asam FH, korosi H2So4 kentel.

Kirim surélék ka kami

Rincian produk

Tag produk

Keramik silikon karbida henteu ngan ukur dianggo dina tahap déposisi pilem ipis, sapertos epitaxy atanapi MOCVD, atanapi dina pamrosésan wafer, anu mana wadah wadah wafer pikeun MOCVD mimitina ditundukkeun kana lingkungan déposisi, sareng ku kituna tahan pisan. panas sarta corrosion.SiC-coated operator ogé mibanda konduktivitas termal tinggi jeung sipat distribusi termal alus teuing.

Murni Kimia Uap déposisi Silicon Carbide (CVD SiC) operator wafer pikeun suhu luhur Metal Organik Kimia Uap déposisi (MOCVD) processing.

Pamawa wafer CVD SiC murni sacara signifikan langkung unggul tibatan pamawa wafer konvensional anu dianggo dina prosés ieu, nyaéta grafit sareng dilapis ku lapisan CVD SiC. operator dumasar-grafit coated ieu teu bisa tahan suhu luhur (1100 nepi ka 1200 darajat Celsius) diperlukeun pikeun déposisi GaN tina kacaangan tinggi dinten ieu dipingpin biru bodas. Suhu anu luhur nyababkeun palapis nyiptakeun liang-liang leutik anu ngaliwatan prosés kimiawi ngahupus grafit di handapeunna. Partikel grafit lajeng flake off jeung ngotorkeun GaN, ngabalukarkeun carrier wafer coated diganti.

CVD SiC ngagaduhan kamurnian 99.999% atanapi langkung sareng gaduh konduktivitas termal anu luhur sareng résistansi shock termal. Ku alatan éta, éta bisa tahan suhu luhur jeung lingkungan kasar tina kacaangan tinggi LED manufaktur. Ieu mangrupakeun bahan monolithic padet nu ngahontal dénsitas teoritis, ngahasilkeun partikel minimal, sarta némbongkeun lalawanan korosi jeung erosi pisan tinggi. Bahanna tiasa ngarobih opacity sareng konduktivitas tanpa ngenalkeun pangotor logam. Pamawa wafer biasana diaméterna 17 inci sareng tiasa nahan dugi ka 40 wafer 2-4 inci.