Silicon carbide keramik baki mamat Silicon carbide tube keramik suplai suhu luhur sintering processing custom
Fitur utama:
1. Silicon carbide baki keramik
- Karasa High sarta lalawanan maké: karasa deukeut inten, sarta bisa tahan maké mékanis dina ngolah wafer keur lila.
- Konduktivitas termal anu luhur sareng koefisien ékspansi termal rendah: dissipation panas gancang sareng stabilitas dimensi, ngahindarkeun deformasi anu disababkeun ku setrés termal.
- Flatness High jeung finish permukaan: The flatness permukaan nepi ka tingkat micron, mastikeun kontak pinuh antara wafer jeung disk, ngurangan kontaminasi jeung karuksakan.
Stabilitas kimiawi: résistansi korosi anu kuat, cocog pikeun beberesih baseuh sareng prosés etching dina manufaktur semikonduktor.
2. Silicon carbide tube keramik
- Résistansi suhu luhur: Éta tiasa dianggo dina lingkungan suhu luhur di luhur 1600 ° C kanggo waktos anu lami, cocog pikeun prosés suhu luhur semikonduktor.
résistansi korosi alus teuing: tahan ka asam, alkalis jeung rupa-rupa pangleyur kimiawi, cocog pikeun lingkungan prosés kasar.
- Karasa luhur sareng résistansi ngagem: nolak erosi partikel sareng ngagem mékanis, manjangkeun umur jasa.
- Konduktivitas termal anu luhur sareng koefisien ékspansi termal rendah: konduksi gancang panas sareng stabilitas dimensi, ngirangan deformasi atanapi retakan anu disababkeun ku setrés termal.
Parameter produk:
Parameter baki keramik silikon karbida:
(Bahan material) | (Unit) | (ssic) | |
(eusi SiC) | (Wt)% | >99 | |
(Ukuran gandum rata-rata) | mikron | 4-10 | |
(Ddénsitas) | kg/dm3 | > 3.14 | |
(porositas semu) | Vo1% | <0.5 | |
(Vickers karasa) | HV 0.5 | GPa | 28 |
*() Kakuatan lentur* (tilu titik) | 20ºC | MPa | 450 |
(Kakuatan komprési) | 20ºC | MPa | 3900 |
(Modulus elastis) | 20ºC | GPa | 420 |
(Kateguhan patah) | MPa/m'% | 3.5 | |
(Konduktivitas termal) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
(Resistivitas) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Koéfisién ékspansi termal) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimum) | oºC | 1700 |
Parameter tabung keramik silikon karbida:
Barang | Indéks |
α-SIC | 99% mnt |
Porositas semu | 16% max |
Kapadetan Bulk | 2,7g/cm3 mnt |
Kakuatan Bending dina Suhu Luhur | 100 Mpa mnt |
Koéfisién ékspansi termal | K-1 4.7x10 -6 |
Koéfisién Konduktivitas Termal (1400ºC) | 24 W/mk |
Max. Suhu Gawé | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Silicon carbide plat keramik
- Wafer motong na polishing: boga fungsi minangka platform bearing pikeun mastikeun precision tinggi jeung stabilitas salila motong na polishing.
- Prosés Lithography: Wafer dibereskeun dina mesin lithography pikeun mastikeun posisi precision tinggi salila paparan.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP): tindakan salaku platform rojongan pikeun polishing hampang, nyadiakeun tekanan seragam jeung distribusi panas.
2. Silicon carbide tube keramik
- Pipa tungku suhu luhur: dianggo pikeun alat-alat suhu luhur sapertos tungku difusi sareng tungku oksidasi pikeun mawa wafer pikeun perawatan prosés suhu luhur.
- Prosés CVD / PVD: Salaku tabung bearing dina chamber réaksi, tahan ka suhu luhur sarta gas corrosive.
- Asesoris parabot semikonduktor: pikeun exchangers panas, pipelines gas, jsb, pikeun ngaronjatkeun efisiensi manajemén termal pakakas.
XKH nawiskeun sajumlah jasa khusus pikeun baki keramik silikon karbida, cangkir nyeuseup sareng tabung keramik karbida silikon. Silicon carbide trays keramik jeung cangkir nyeuseup, XKH bisa ngaropéa nurutkeun sarat customer tina ukuran béda, wangun jeung roughness permukaan, sarta ngarojong perlakuan palapis husus, ningkatkeun lalawanan maké jeung lalawanan korosi; Pikeun silikon carbide tabung keramik, XKH bisa ngaropea rupa-rupa diaméterna jero, diaméterna luar, panjangna jeung struktur kompléks (kayaning tube ngawangun atawa tube porous), sarta nyadiakeun polishing, palapis anti oksidasi jeung prosés perlakuan permukaan lianna. XKH mastikeun yén para nasabah tiasa ngamangpaatkeun pinuh ku kauntungan kinerja produk keramik silikon karbida pikeun nyumponan sarat nungtut widang manufaktur high-end sapertos semikonduktor, led sareng photovoltaics.
Diagram lengkep



