Baki keramik silikon karbida, tabung keramik silikon karbida, nyadiakeun pangolahan khusus sintering suhu luhur
Fitur utama:
1. Baki keramik silikon karbida
- Karasa sareng résistansi kana goresan anu luhur: karasa na ampir sami sareng inten, sareng tiasa tahan kana goresan mékanis dina pamrosésan wafer salami lami.
- Konduktivitas termal anu luhur sareng koéfisién ékspansi termal anu handap: disipasi panas anu gancang sareng stabilitas diménsi, nyingkahan deformasi anu disababkeun ku setrés termal.
- Karataan sareng hasil akhir permukaan anu luhur: Karataan permukaanna dugi ka tingkat mikron, mastikeun kontak lengkep antara wafer sareng piringan, ngirangan kontaminasi sareng karusakan.
Stabilitas kimia: Tahan korosi anu kuat, cocog pikeun prosés beberesih baseuh sareng ngetsa dina manufaktur semikonduktor.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Résistansi suhu luhur: Ieu tiasa dianggo dina lingkungan suhu luhur di luhur 1600°C kanggo waktos anu lami, cocog pikeun prosés semikonduktor suhu luhur.
Résistansi korosi anu saé: tahan kana asam, alkali sareng rupa-rupa pangleyur kimia, cocog pikeun lingkungan prosés anu kasar.
-Karasana luhur sareng résistansi kana ngagem: nolak erosi partikel sareng ngagem mékanis, manjangkeun umur jasa.
- Konduktivitas termal anu luhur sareng koefisien ékspansi termal anu handap: konduksi panas anu gancang sareng stabilitas diménsi, ngirangan deformasi atanapi retakan anu disababkeun ku setrés termal.
Parameter Produk：
Parameter baki keramik silikon karbida:
| (Sipat bahan) | (Unit) | (ssic) | |
| (Eusi SiC) | (Beurat)% | >99 | |
| (Ukuran rata-rata butir) | mikron | 4-10 | |
| (Kapadatan) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porositas anu katingali) | Vo1% | <0.5 | |
| (Karasa Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Kakuatan fléksibel* (tilu poin) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Kakuatan komprési) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Elastis) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kateguhan patah tulang) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Konduktivitas termal) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Résistivitas) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Koefisien ékspansi termal) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Suhu operasi maksimum) | oºC | 1700 | |
Parameter tabung keramik silikon karbida:
| Barang-barang | Indéks |
| α-SIC | 99% mnt |
| Porositas anu katingali | Maksimum 16% |
| Kapadetan Massal | 2.7g/cm3 mnt |
| Kakuatan Lentur dina Suhu Luhur | 100 Mpa mnt |
| Koefisien Ékspansi Termal | K-1 4.7x10 -6 |
| Koefisien Konduktivitas Termal (1400ºC) | 24 W/mk |
| Suhu Gawé Maks. | 1650ºC |
Aplikasi utama:
1. Pelat keramik silikon karbida
- Motong sareng ngagosok wafer: fungsina salaku platform bantalan pikeun mastikeun presisi sareng stabilitas anu luhur nalika motong sareng ngagosok.
- Prosés litografi: Wafer dipasang dina mesin litografi pikeun mastikeun posisi anu presisi tinggi nalika dipapar.
- Pemolesan Mékanis Kimia (CMP): bertindak salaku platform pangrojong pikeun bantalan pemoles, nyayogikeun tekanan sareng distribusi panas anu seragam.
2. Tabung keramik silikon karbida
- Tabung tungku suhu luhur: dianggo pikeun alat-alat suhu luhur sapertos tungku difusi sareng tungku oksidasi pikeun ngangkut wafer pikeun pangolahan prosés suhu luhur.
- Prosés CVD/PVD: Salaku tabung bantalan dina ruang réaksi, tahan kana suhu anu luhur sareng gas korosif.
- Asesoris peralatan semikonduktor: pikeun penukar panas, pipa gas, jsb., pikeun ningkatkeun efisiensi manajemen termal peralatan.
XKH nawiskeun rupa-rupa jasa khusus pikeun baki keramik silikon karbida, cangkir sedot, sareng tabung keramik silikon karbida. Baki keramik silikon karbida sareng cangkir sedot, XKH tiasa disaluyukeun numutkeun sarat konsumén kalayan ukuran, bentuk, sareng karasana permukaan anu béda-béda, sareng ngadukung perlakuan palapis khusus, ningkatkeun résistansi maké sareng résistansi korosi; Pikeun tabung keramik silikon karbida, XKH tiasa ngaropea rupa-rupa diaméter jero, diaméter luar, panjang, sareng struktur anu rumit (sapertos tabung anu dibentuk atanapi tabung porous), sareng nyayogikeun polesan, palapis anti-oksidasi, sareng prosés perlakuan permukaan anu sanés. XKH mastikeun yén konsumén tiasa ngamangpaatkeun kauntungan kinerja produk keramik silikon karbida pikeun minuhan sarat anu nungtut tina widang manufaktur kelas atas sapertos semikonduktor, LED, sareng fotovoltaik.
Diagram Lengkep
