Tahap Bantalan Udara SiC Ultra-Presisi

Pedaran Singkat:

Kalayan évolusi anu terus-terusan dina industri semikonduktor, alat pamrosésan sareng pamariksaan meryogikeun kinerja anu langkung luhur. Dumasar kana kaahlian anu lega dina kontrol gerakan sareng posisi tingkat nanometer, kami parantos ngembangkeun tahap bantalan hawa ultra-presisi sumbu ganda tipe-H planar.

Kirim email ka kami

Fitur

Diagram Lengkep

Tinjauan

Dirarancang nganggo struktur keramik silikon karbida (SiC) anu dioptimalkeun ku unsur terbatas sareng téknologi bantalan hawa anu dikompensasi, panggung ieu ngahasilkeun akurasi, kaku, sareng réspon dinamis anu luar biasa. Éta cocog pisan pikeun:

Pamrosésan sareng pamariksaan semikonduktor
Fabrikasi mikro/nano sareng metrologi
Motong jeung ngagosok laleur skala nanometer
Pamindaian presisi kecepatan tinggi

Fitur konci

Jalur pandu bantalan hawa SiCpikeun kaku sareng presisi anu luhur pisan
Dinamika anu luhur: laju nepi ka 1 m/s, akselerasi nepi ka 4 g, pengendapan gancang
Sumbu Y gantry dual-drivemastikeun kapasitas beban anu luhur sareng stabilitas
Pilihan encoder: kisi optik atanapi interferometer laser
Akurasi posisi: ±0,15 µm;kabisaan pikeun ngulang deui: ±75 nm
Ngaropéa kabel anu dioptimalkeunpikeun desain anu bersih sareng reliabilitas jangka panjang
Konfigurasi anu tiasa disaluyukeunpikeun kabutuhan khusus aplikasi

Desain Ultra-Presisi & Arsitektur Direct-Drive, Non-Kontak

Pigura Keramik SiC: ~5× kaku tina logam campuran aluminium sareng ~5× ékspansi termal anu langkung handap, mastikeun stabilitas kecepatan tinggi sareng kakuatan termal.
Bantalan Udara KompensasiDesain anu dipiboga ningkatkeun kaku, kapasitas beban, sareng stabilitas gerakan.
Kinerja Dinamis: Ngarojong kecepatan 1 m/s sareng akselerasi 4 g, idéal pikeun prosés throughput anu luhur.
Integrasi anu MulusCocog sareng sistem isolasi geter, tahapan puteran, modul miring, sareng platform penanganan wafer.
Manajemén KabelRadius lentur anu dikontrol ngaminimalkeun setrés pikeun umur layanan anu langkung lami.

Motor Linier Tanpa Inti: Gerakan lemes tanpa gaya cogging nol.
Penggerak Multi-Motor: Panempatan motor bidang beban ningkatkeun kalurusan, karataan, sareng presisi sudut.
Isolasi TermalMotor diisolasi tina struktur panggung; pendinginan hawa atanapi cai opsional pikeun siklus tugas tinggi.

Spésifikasi

Modél	400-400	500-500	600-600
Sumbu	X (scan) / Y (léngkah)	X (scan) / Y (léngkah)	X (scan) / Y (léngkah)
Perjalanan (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Akurasi (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Kabisaulangan (nm)	±75	±100	±100
Résolusi (nm)	0.3	0.3	0.3
Laju Maks (m/s)	1	1	1
Akselerasi (g)	4	4	4
Kalurusan (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabilitas (nm)	±5	±5	±5
Beban Maks (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Kaayaan Tés:

Pasokan hawa: bersih, garing; titik embun ≤ 0°F; filtrasi partikel ≤ 0,25 μm; atanapi 99,99% nitrogén.
Akurasi diukur 25 mm di luhur puseur panggung dina suhu 20±1 °C, 40–60% RH.

Aplikasi

Litografi semikonduktor, inspeksi, sareng penanganan wafer
Fabrikasi mikro/nano sareng metrologi presisi
Manufaktur optik kelas luhur sareng interferometri
Panalungtikan ilmiah canggih sareng aerospace

FAQ – Tahap Bantalan Udara Silikon Karbida

1. Naon ari tahapan anu ngandung hawa?

Panggung anu ngandung hawa nganggo lapisan ipis hawa anu diteken antara panggung sareng jalur pituduh pikeun nyayogikeuntanpa gesekan, bébas gesekan, sareng gerakan anu mulus pisan. Teu siga bantalan mékanis konvensional, ieu bantalan ngaleungitkeun slip lengket, ngahasilkeun akurasi tingkat nanometer, sareng ngadukung reliabilitas jangka panjang.

2. Naha kunaon nganggo silikon karbida (SiC) pikeun struktur panggung?

Kaku anu luhur~5× tina campuran aluminium, ngaminimalkeun deformasi nalika gerakan dinamis.
Ékspansi termal anu handap~5× leuwih handap tibatan aluminium, ngajaga akurasi dina variasi suhu.
Enteng: Kapadetan anu langkung handap dibandingkeun sareng baja, ngamungkinkeun operasi kalayan kecepatan tinggi sareng akselerasi tinggi.
Stabilitas anu saé pisan: Redaman sareng kaku anu unggul pikeun posisi anu ultra-presisi.

3. Naha panggungna peryogi pelumasan atanapi pangropéa?

Teu peryogi pelumasan tradisional sabab ayateu aya kontak mékanisPangropéa anu disarankeun ngawengku:

Nyayogikeunhawa komprés anu bersih sareng garing atanapi nitrogén
Inspeksi périodik tina filter sareng pengering
Kabel monitoring sareng sistem pendingin

4. Naon waé sarat suplai hawa?

Titik embun: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrasi partikel: ≤ 0,25 μm
Hawa bersih, garing atanapi 99,99% nitrogén murni
Tekanan stabil kalayan fluktuasi minimal

Tentang Kami

XKH spesialisasi dina pamekaran téknologi luhur, produksi, sareng penjualan kaca optik khusus sareng bahan kristal énggal. Produk kami ngalayanan éléktronik optik, éléktronik konsumen, sareng militer. Kami nawiskeun komponén optik Safir, panutup lénsa telepon sélulér, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarsa, sareng wafer kristal semikonduktor. Kalayan kaahlian anu terampil sareng peralatan canggih, kami unggul dina pamrosésan produk non-standar, tujuanana janten perusahaan téknologi luhur bahan optoéléktronik anu unggul.