Chuck Keramik Silikon Karbida pikeun Wafer SiC safir Si GAAs

Pedaran Singkat:

Chuck Keramik Silicon Carbide nyaéta platform kinerja tinggi anu direkayasa pikeun pamariksaan semikonduktor, fabrikasi wafer, sareng aplikasi beungkeutan. Diwangun ku bahan keramik canggih—kalebet SiC sintered (SSiC), SiC beungkeutan réaksi (RSiC), silikon nitrida, sareng aluminium nitrida—éta nawiskeun kaku anu luhur, ékspansi termal anu handap, résistansi maké anu saé, sareng umur layanan anu panjang.

Kirim email ka kami

Fitur

Diagram Lengkep

Tinjauan Chuck Keramik Silikon Karbida (SiC)

TheChuck Keramik Silikon Karbidanyaéta platform kinerja tinggi anu direkayasa pikeun pamariksaan semikonduktor, fabrikasi wafer, sareng aplikasi beungkeutan. Diwangun ku bahan keramik canggih—kalebetSiC anu disinter (SSiC), SiC anu kabeungkeut réaksi (RSiC), silikon nitrida, jeungaluminium nitrida—éta nawiskeunkaku anu luhur, ékspansi termal anu handap, résistansi kana goresan anu saé, sareng umur layanan anu panjang.

Kalayan rékayasa presisi sareng polesan anu canggih, chuck ieu ngahasilkeunkerataan sub-mikron, permukaan kualitas eunteung, sareng stabilitas diménsi jangka panjang, jantenkeun solusi anu idéal pikeun prosés semikonduktor anu kritis.

Kaunggulan konci

Presisi Tinggi
Karataan dikontrol di jerona0,3–0,5 µm, mastikeun stabilitas wafer sareng akurasi prosés anu konsisten.
Poles Eunteung
NgahontalRa 0,02 μmkarasana permukaan, ngaminimalkeun goresan wafer sareng kontaminasi—sampurna pikeun lingkungan anu ultra-bersih.
Ultra-Enteng
Leuwih kuat tapi leuwih hampang tibatan substrat kuarsa atawa logam, ningkatkeun kontrol gerakan, résponsif, jeung akurasi posisi.
Kaku Tinggi
Modulus Young anu luar biasa mastikeun stabilitas diménsi dina beban beurat sareng operasi kecepatan tinggi.
Ékspansi Termal Leutik
CTE cocog pisan jeung wafer silikon, ngurangan setrés termal sarta ningkatkeun reliabilitas prosés.
Résistansi Awét Anu Luar Biasa
Karasana anu ekstrim ngajaga kerataan sareng presisi sanajan dina panggunaan frékuénsi anu luhur dina jangka panjang.

Prosés Manufaktur

Persiapan Bahan Baku
Bubuk SiC kalawan kamurnian luhur kalayan ukuran partikel anu dikontrol sareng pangotor anu sangat rendah.
Ngabentuk & Sintering
Téhnik sapertossintering tanpa tekanan (SSiC) or beungkeutan réaksi (RSiC)ngahasilkeun substrat keramik anu padet sareng seragam.
Mesin Presisi
Panggilingan CNC, pangkas laser, sareng mesin ultra-presisi ngahontal toleransi ±0,01 mm sareng paralelisme ≤3 μm.
Perawatan Permukaan
Panggilingan sareng polesan multi-tahap dugi ka Ra 0,02 μm; palapis opsional sayogi pikeun tahan korosi atanapi sipat gesekan khusus.
Inspeksi & Kontrol Kualitas
Interferometer sareng alat panguji karasana mastikeun kasaluyuan sareng spésifikasi kelas semikonduktor.

Spésifikasi Téknis

Parameter	Nilai	Unit
Karataan	≤0.5	μm
Ukuran wafer	6'', 8'', 12'' (sayogi dipesen khusus)	—
Jenis permukaan	Jenis pin / Jenis cingcin	—
Jangkungna pin	0,05–0,2	mm
Diaméter pin minimum	ϕ0.2	mm
Jarak pin minimum	3	mm
Lebar cingcin segel minimum	0.7	mm
Kasar permukaan	Ra 0.02	μm
Toleransi ketebalan	±0.01	mm
Toleransi diaméter	±0.01	mm
Toleransi paralelisme	≤3	μm

Aplikasi Utama

Alat-alat inspeksi wafer semikonduktor
Sistem fabrikasi sareng transfer wafer
Pakakas pangiket & pengemasan wafer
Pabrikasi alat optoelektronik canggih
Instrumén presisi anu meryogikeun permukaan anu ultra-datar sareng ultra-bersih

Tanya Jawab – Chuck Keramik Silikon Karbida

Q1: Kumaha chuck keramik SiC dibandingkeun sareng chuck kuarsa atanapi logam?
A1: Chuck SiC leuwih hampang, leuwih kaku, sarta mibanda CTE nu deukeut jeung wafer silikon, nu ngaminimalkeun deformasi termal. Éta ogé nawarkeun résistansi maké nu unggul sarta umur nu leuwih lila.

Q2: Kerataan naon anu tiasa kahontal?
A2: Dikontrol dina0,3–0,5 µm, minuhan paménta produksi semikonduktor anu ketat.

Q3: Naha permukaan wafer bakal ngagores?
A3: Henteu—dipoles ku eunteungRa 0,02 μm, mastikeun penanganan anu bébas goresan sareng ngirangan generasi partikel.

Q4: Ukuran wafer naon waé anu dirojong?
A4: Ukuran standar tina6'', 8'', sareng 12'', kalayan kustomisasi sayogi.

Q5: Kumaha résistansi termalna?
A5: Keramik SiC nyayogikeun kinerja suhu luhur anu saé pisan kalayan deformasi minimal dina siklus termal.

Tentang Kami

XKH spesialisasi dina pamekaran téknologi luhur, produksi, sareng penjualan kaca optik khusus sareng bahan kristal énggal. Produk kami ngalayanan éléktronik optik, éléktronik konsumen, sareng militer. Kami nawiskeun komponén optik Safir, panutup lénsa telepon sélulér, Keramik, LT, Silicon Carbide SIC, Kuarsa, sareng wafer kristal semikonduktor. Kalayan kaahlian anu terampil sareng peralatan canggih, kami unggul dina pamrosésan produk non-standar, tujuanana janten perusahaan téknologi luhur bahan optoéléktronik anu unggul.