4 inci SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrat prima, panalungtikan, sareng kelas dummy

4 inci SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrat perdana, panalungtikan, sareng kelas dummy Gambar Diulas

Katerangan pondok:

Substrat silikon carbide semi-insulated dibentuk ku motong, grinding, polishing, beberesih jeung téhnologi processing séjén sanggeus tumuwuhna kristal silikon carbide semi-insulated.Lapisan atanapi lapisan kristal multilayer ditumbuhkeun dina substrat anu nyumponan sarat kualitas salaku epitaxy, teras alat RF gelombang mikro didamel ku ngagabungkeun desain sirkuit sareng bungkusan.Sadia salaku 2inch 3inch 4inch 6inch 8 inci industri, panalungtikan sarta uji kelas semi-insulated silikon carbide substrat kristal tunggal.

Kirim surélék ka kami

Rincian produk

Tag produk

Spésifikasi produk

Kelas			Nol MPD Produksi Kelas (Z Kelas)			Standar Produksi Kelas (P Kelas)		Kelas Dummy (Kelas D)
Diameter			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Orientasi Wafer			Pareum sumbu: 4.0 ° nuju< 1120 > ± 0.5 ° pikeun 4H-N, Dina sumbu: <0001> ± 0.5 ° pikeun 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Orientasi Datar primér		{10-10} ±5.0°
Panjang Datar primér		32,5 mm ± 2,0 mm
Sekundér Datar Panjang		18,0 mm ± 2,0 mm
Orientasi Datar sekundér		Silicon nyanghareupan up: 90 ° CW.ti Perdana datar ± 5,0 °
Pangaluaran Tepi		3 mm
LTV / TTV / Bow / Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Kakasaran			C raray				Polandia		Ra≤1 nm
			Si beungeut	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Retakan Tepi Ku Lampu Inténsitas Tinggi		Euweuh						Panjang kumulatif ≤ 10 mm, tunggal panjangna≤2 mm
Pelat Hex Ku Lampu Inténsitas Tinggi		Wewengkon kumulatif ≤0,05%						Wewengkon kumulatif ≤0,1%
Wewengkon Polytype Ku Lampu Inténsitas Tinggi		Euweuh						Luas kumulatif≤3%
Inclusions Karbon Visual		Wewengkon kumulatif ≤0,05%						Wewengkon kumulatif ≤3%
Goresan Permukaan Silikon Ku Cahaya Inténsitas Tinggi		Euweuh						Panjang kumulatif≤1＊diaméterna wafer
Tepi Chips High Ku Inténsitas Lampu		Euweuh diidinan ≥0.2 mm rubak jeung jero						5 diwenangkeun, ≤1 mm unggal
Kontaminasi Permukaan Silikon Ku Inténsitas Tinggi		Euweuh
Bungkusan		Kaset Multi-wafer Atawa Wadah Wafer Tunggal