8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Conductive dummy kelas panalungtikan
Alatan sipat fisik jeung éléktronik unik na, 200mm SiC bahan semikonduktor wafer dipaké pikeun nyieun-kinerja tinggi,-suhu luhur, radiasi-tahan, sarta alat éléktronik frékuénsi luhur. Harga substrat SiC 8 inci turun laun-laun kusabab téknologina janten langkung maju sareng paménta naék. Kamajuan téknologi anyar nyababkeun produksi skala produksi wafer SiC 200mm. Kaunggulan utama bahan semikonduktor wafer SiC dibandingkeun sareng wafer Si sareng GaAs: Kakuatan médan listrik 4H-SiC nalika ngarecahna longsoran langkung ti hiji urutan gedéna langkung luhur tibatan nilai anu cocog pikeun Si sareng GaAs. Ieu ngakibatkeun panurunan signifikan dina résistansi dina kaayaan Ron. Résistansi dina kaayaan anu rendah, digabungkeun sareng dénsitas arus anu luhur sareng konduktivitas termal, ngamungkinkeun panggunaan paeh anu alit pikeun alat listrik. Konduktivitas termal anu luhur tina SiC ngirangan résistansi termal chip. Sipat éléktronik alat dumasar kana wafer SiC stabil pisan kana waktos sareng suhu stabil, anu ngajamin réliabilitas produk anu luhur. Silicon carbide pisan tahan ka radiasi teuas, nu teu ngaruksak sipat éléktronik chip. Suhu operasi wates luhur kristal (langkung ti 6000C) ngamungkinkeun anjeun nyiptakeun alat anu tiasa dipercaya pikeun kaayaan operasi anu parah sareng aplikasi khusus. Dina hadir, urang bisa nyadiakeun angkatan leutik 200mmSiC wafers steadily tur terus-terusan sarta mibanda sababaraha stock di gudang.
Spésifikasi
Jumlah | Barang | Unit | Produksi | Panalungtikan | Dummy |
1. Parameter | |||||
1.1 | polytype | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientasi permukaan | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2. Parameter listrik | |||||
2.1 | dopan | -- | n-tipe Nitrogén | n-tipe Nitrogén | n-tipe Nitrogén |
2.2 | résistansi | emh · cm | 0,015~0,025 | 0.01~0.03 | NA |
3. Parameter mékanis | |||||
3.1 | diaméterna | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | kandelna | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientasi kiyeu | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Jerona kiyeu | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | ruku | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Leumpang | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4. Struktur | |||||
4.1 | dénsitas micropipe | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | eusi logam | atom/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. kualitas positif | |||||
5.1 | hareup | -- | Si | Si | Si |
5.2 | finish permukaan | -- | Si-beungeut CMP | Si-beungeut CMP | Si-beungeut CMP |
5.3 | partikel | ea / wafer | ≤100 (ukuran≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | ngeruk | ea / wafer | ≤5, Total Length≤200mm | NA | NA |
5.5 | Ujung chip / indents / retakan / noda / kontaminasi | -- | Euweuh | Euweuh | NA |
5.6 | wewengkon polytype | -- | Euweuh | Wewengkon ≤10% | Wewengkon ≤30% |
5.7 | nyirian hareup | -- | Euweuh | Euweuh | Euweuh |
6. kualitas deui | |||||
6.1 | bérés deui | -- | C-beungeut MP | C-beungeut MP | C-beungeut MP |
6.2 | ngeruk | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Defects deui tepi chip / indents | -- | Euweuh | Euweuh | NA |
6.4 | Kasar deui | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Nyirian tukang | -- | Kiyeu | Kiyeu | Kiyeu |
7. Ujung | |||||
7.1 | tepi | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
8. Paket | |||||
8.1 | bungkusan | -- | Epi-siap sareng vakum bungkusan | Epi-siap sareng vakum bungkusan | Epi-siap sareng vakum bungkusan |
8.2 | bungkusan | -- | Multi-wafer bungkusan kaset | Multi-wafer bungkusan kaset | Multi-wafer bungkusan kaset |