Sistem Orientasi Wafer pikeun Ukuran Orientasi Kristal
Perkenalan Peralatan
Instrumen orientasi wafer nyaéta alat presisi dumasar kana prinsip difraksi sinar-X (XRD), utamana dipaké dina manufaktur semikonduktor, bahan optik, keramik, jeung industri bahan kristalin lianna.
Alat-alat ieu nangtukeun orientasi kisi kristal sareng nungtun prosés motong atanapi polishing anu tepat. fitur konci ngawengku:
- Pangukuran-precision luhur:Sanggup ngarengsekeun pesawat kristalografi kalayan resolusi sudut dugi ka 0,001°.
- Kasaluyuan sampel badag:Ngarojong wafers nepi ka 450 mm diaméterna jeung beurat 30 kg, cocog pikeun bahan kawas silikon karbida (SiC), safir, jeung silikon (Si).
- Desain modular:Pungsi anu tiasa dilegakeun kalebet analisis kurva goyang, pemetaan cacad permukaan 3D, sareng alat tumpukan pikeun ngolah multi-sampel.
Parameter Téknis Utama
| Kategori Parameter | Niley has / Konfigurasi |
| Sumber X-ray | Cu-Kα (0,4×1 mm titik fokus), 30 kV tegangan akselerasi, 0-5 mA adjustable tube ayeuna |
| Rentang Sudut | θ: -10 ° nepi ka +50 °; 2θ: -10° nepi ka +100° |
| Akurasi | Resolusi sudut Dengdekkeun: 0.001°, deteksi cacad permukaan: ± 30 detik busur (kurva goyang) |
| Laju nyeken | Omega scan ngalengkepan orientasi kisi pinuh dina 5 detik; Theta scan nyokot ~1 menit |
| Tahap Sampel | V-groove, nyeuseup pneumatik, rotasi multi-sudut, cocog sareng wafer 2-8 inci |
| Fungsi anu tiasa dilegakeun | Analisis kurva goyang, pemetaan 3D, alat tumpukan, deteksi cacad optik (goresan, GBs) |
Prinsip Kerja
1. Yayasan Difraksi Sinar-X
- Sinar-X berinteraksi sareng inti atom sareng éléktron dina kisi kristal, ngahasilkeun pola difraksi. Hukum Bragg (nλ = 2d sinθ) ngatur hubungan antara sudut difraksi (θ) jeung jarak kisi (d).
Detéktor néwak pola ieu, anu dianalisis pikeun ngarekonstruksikeun struktur kristalografi.
2. Téhnologi Nyeken Omega
- Kristal rotates terus sabudeureun sumbu tetep bari X-ray nyaangan eta.
- Detéktor ngumpulkeun sinyal difraksi dina sababaraha pesawat kristalografi, ngamungkinkeun determinasi orientasi kisi pinuh dina 5 detik.
3. Analisis Kurva Goyang
- Sudut kristal dibereskeun kalawan rupa-rupa sudut incidence X-ray pikeun ngukur rubak puncak (FWHM), assessing defects kisi jeung galur.
4. Kontrol Otomatis
- PLC sareng antarmuka layar rampa ngaktifkeun sudut motong prasetél, eupan balik sacara real-time, sareng integrasi sareng mesin motong pikeun kontrol loop-tutup.
Kaunggulan jeung Fitur
1. Precision jeung Efisiensi
- Akurasi sudut ± 0,001 °, résolusi deteksi cacad <30 arcseconds.
- Laju scan Omega 200x langkung gancang tibatan scan Theta tradisional.
2. Modularitas sareng Skalabilitas
- Bisa dilegakeun pikeun aplikasi husus (contona, wafer SiC, bilah turbin).
- Integrasi sareng sistem MES pikeun ngawaskeun produksi sacara real-time.
3. Kasaluyuan sareng Stabilitas
- Nampung sampel anu bentukna henteu teratur (contona, ingot safir retak).
- Desain hawa-tiis ngurangan kabutuhan pangropéa.
4. Operasi calakan
- Hiji-klik calibration jeung ngolah multi-tugas.
- Otomatis-calibration kalawan kristal rujukan pikeun ngaleutikan kasalahan manusa.
Aplikasi
1. Manufaktur Semikonduktor
- Orientasi wafer dicing: Nangtukeun orientasi wafer Si, SiC, GaN pikeun efisiensi motong anu dioptimalkeun.
- Pemetaan cacad: Nangtukeun goresan permukaan atanapi dislokasi pikeun ningkatkeun ngahasilkeun chip.
2. Bahan Optik
- Kristal nonlinier (contona, LBO, BBO) pikeun alat laser.
- Inten biru wafer rujukan permukaan nyirian pikeun substrat LED.
3. Keramik sareng Komposit
- Nganalisis orientasi sisikian dina Si3N4 na ZrO2 pikeun aplikasi-suhu luhur.
4. Panalungtikan sareng Kontrol Kualitas
- Paguron luhur/laboratorium pikeun pangwangunan bahan novél (contona, aloi éntropi luhur).
- QC industri pikeun mastikeun konsistensi bets.
Jasa XKH urang
XKH nawiskeun dukungan téknis siklus hirup komprehensif pikeun instrumen orientasi wafer, kalebet pamasangan, optimasi parameter prosés, analisis kurva goyang, sareng pemetaan cacad permukaan 3D. Solusi anu cocog (contona, téknologi tumpukan ingot) disayogikeun pikeun ningkatkeun efisiensi produksi semikonduktor sareng bahan optik langkung ti 30%. Hiji tim dedicated ngalaksanakeun latihan dina situs, bari 24/7 rojongan jauh jeung ngagantian suku cadang gancang mastikeun reliabiliti alat.
