Wafer Silikon Karbida 3 inci Kamurnian Luhur (Teu Didoping) Substrat Sic Semi-Insulating (HPSl)
Properti
1. Sipat Fisik sareng Struktural
●Jenis Bahan: Silikon Karbida (SiC) Kamurnian Luhur (Teu Didoping)
●Diaméter: 3 inci (76,2 mm)
●Kandelna: 0,33-0,5 mm, tiasa disaluyukeun dumasar kana sarat aplikasi.
●Struktur Kristal: Politipe 4H-SiC kalayan kisi heksagonal, anu dikenal ku mobilitas éléktron anu luhur sareng stabilitas termal.
●Orientasi:
oStandar: [0001] (C-plane), cocog pikeun rupa-rupa aplikasi.
oOpsional: Di luar sumbu (miring 4° atanapi 8°) pikeun ningkatkeun kamekaran epitaksial lapisan alat.
●Karataan: Variasi ketebalan total (TTV) ●Kualitas Beungeut:
oDipoles dugi ka oKapadatan cacad handap (kapadetan mikropipa <10/cm²). 2. Sipat Listrik ●Résistivitas: >109^99 Ω·cm, dijaga ku cara ngaleungitkeun dopan anu disengaja.
●Kakuatan Dielektrik: Daya tahan tegangan luhur kalayan karugian dielektrik minimal, idéal pikeun aplikasi daya luhur.
●Konduktivitas Termal: 3.5-4.9 W/cm·K, ngamungkinkeun disipasi panas anu efektif dina alat-alat kinerja tinggi.
3. Sipat Termal sareng Mékanis
●Gap pita lega: 3.26 eV, ngadukung operasi dina tegangan luhur, suhu luhur, sareng kaayaan radiasi luhur.
●Karasa: Skala Mohs 9, mastikeun kakuatan ngalawan karusakan mékanis nalika diprosés.
●Koefisien Ékspansi Termal: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, mastikeun stabilitas diménsi dina variasi suhu.
| Parameter | Kelas Produksi | Kelas Panalungtikan | Kelas Dummy | Unit |
| Kelas | Kelas Produksi | Kelas Panalungtikan | Kelas Dummy | |
| Diaméter | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| Kandel | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Orientasi Wafer | Dina sumbu: <0001> ± 0,5° | Dina sumbu: <0001> ± 2.0° | Dina sumbu: <0001> ± 2.0° | gelar |
| Kapadetan Mikropipa (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Résistansi Listrik | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Dopant | Diulah deui | Diulah deui | Diulah deui | |
| Orientasi Datar Utama | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | gelar |
| Panjang Datar Utama | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
| Panjang Datar Sekundér | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Orientasi Datar Sekunder | 90° CW ti datar primér ± 5.0° | 90° CW ti datar primér ± 5.0° | 90° CW ti datar primér ± 5.0° | gelar |
| Pangaluaran Tepi | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Busur/Luncung | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Kasar Permukaan | Si-beungeut: CMP, C-beungeut: Dipoles | Si-beungeut: CMP, C-beungeut: Dipoles | Si-beungeut: CMP, C-beungeut: Dipoles | |
| Retakan (Cahaya Intensitas Tinggi) | Teu aya | Teu aya | Teu aya | |
| Pelat Hex (Lampu Intensitas Tinggi) | Teu aya | Teu aya | Area kumulatif 10% | % |
| Daérah Politipe (Cahaya Intensitas Tinggi) | Area kumulatif 5% | Area kumulatif 20% | Area kumulatif 30% | % |
| Goresan (Cahaya Intensitas Tinggi) | ≤ 5 goresan, panjang kumulatif ≤ 150 | ≤ 10 goresan, panjang kumulatif ≤ 200 | ≤ 10 goresan, panjang kumulatif ≤ 200 | mm |
| Tepi Chipping | Teu aya ≥ 0,5 mm lébar/jerona | 2 diidinan ≤ 1 mm lébar/jerona | 5 diidinan ≤ 5 mm lébar/jerona | mm |
| Kontaminasi Permukaan | Teu aya | Teu aya | Teu aya |
Aplikasi
1. Éléktronika Daya
Celah pita anu lega sareng konduktivitas termal anu luhur tina substrat HPSI SiC ngajantenkeun éta idéal pikeun alat listrik anu beroperasi dina kaayaan ekstrim, sapertos:
●Alat Tegangan Tinggi: Kalebet MOSFET, IGBT, sareng Dioda Panghalang Schottky (SBD) pikeun konvérsi daya anu efisien.
●Sistem Énergi Anu Tiasa Diperbarui: Sapertos inverter surya sareng pangontrol turbin angin.
●Kendaraan Listrik (EV): Dianggo dina inverter, carjer, sareng sistem powertrain pikeun ningkatkeun efisiensi sareng ngirangan ukuran.
2. Aplikasi RF sareng Microwave
Résistivitas anu luhur sareng karugian dielektrik anu handap tina wafer HPSI penting pisan pikeun sistem frékuénsi radio (RF) sareng gelombang mikro, kalebet:
●Infrastruktur Télékomunikasi: Stasion pangkalan pikeun jaringan 5G sareng komunikasi satelit.
●Aerospace sareng Pertahanan: Sistem radar, anteneu array bertahap, sareng komponén avionik.
3. Optoéléktronik
Transparansi sareng celah pita anu lega tina 4H-SiC ngamungkinkeun panggunaanana dina alat optoelektronik, sapertos:
●Fotodetektor UV: Pikeun pangawasan lingkungan sareng diagnostik médis.
●LED Daya Luhur: Ngarojong sistem lampu solid-state.
●Dioda Laser: Pikeun aplikasi industri sareng médis.
4. Panalungtikan sareng Pangwangunan
Substrat HPSI SiC loba dipaké di laboratorium R&D akademik jeung industri pikeun ngajalajah sipat bahan canggih jeung fabrikasi alat, kaasup:
●Tumuwuhna Lapisan Épitaksial: Ulikan ngeunaan pangurangan cacad sareng optimasi lapisan.
●Ulikan Mobilitas Pamawa: Panalungtikan ngeunaan transpor éléktron sareng liang dina bahan anu mibanda kamurnian luhur.
●Prototipe: Pamekaran awal alat sareng sirkuit anyar.
Kauntungan
Kualitas Unggul:
Kamurnian anu luhur sareng kapadetan cacad anu handap nyayogikeun platform anu tiasa dipercaya pikeun aplikasi anu canggih.
Stabilitas Termal:
Sipat disipasi panas anu saé ngamungkinkeun alat-alat beroperasi sacara efisien dina kaayaan daya sareng suhu anu luhur.
Kompatibilitas Lega:
Orientasi anu sayogi sareng pilihan ketebalan khusus mastikeun adaptasi pikeun rupa-rupa sarat alat.
Daya tahan:
Karasa anu luar biasa sareng stabilitas struktural ngaminimalkeun karusakan sareng deformasi salami pamrosésan sareng operasi.
Versatilitas:
Cocog pikeun rupa-rupa industri, ti mimiti énergi anu tiasa dianyarikeun dugi ka aerospace sareng telekomunikasi.
Kacindekan
Wafer Silikon Karbida Semi-Insulating Kemurnian Tinggi 3 inci ngawakilan puncak téknologi substrat pikeun alat-alat kakuatan tinggi, frékuénsi tinggi, sareng optoelektronik. Kombinasi sipat termal, listrik, sareng mékanis anu saé mastikeun kinerja anu tiasa dipercaya dina lingkungan anu nangtang. Tina éléktronika daya sareng sistem RF dugi ka optoelektronik sareng R&D canggih, substrat HPSI ieu nyayogikeun pondasi pikeun inovasi énjing.
Kanggo inpormasi lengkep atanapi kanggo mesen, mangga ngahubungi kami. Tim téknis kami sayogi kanggo masihan panduan sareng pilihan kustomisasi anu disaluyukeun sareng kabutuhan anjeun.
Diagram Lengkep















