Wafer SiC Silikon Karbida 6 inci 150mm tipe 4H-N pikeun Panalungtikan Produksi MOS atanapi SBD sareng kelas Dummy
Widang Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci maénkeun peran penting dina sababaraha industri. Anu kahiji, éta seueur dianggo dina industri semikonduktor pikeun fabrikasi alat éléktronik kakuatan tinggi sapertos transistor daya, sirkuit terpadu, sareng modul daya. Konduktivitas termal anu luhur sareng résistansi suhu anu luhur ngamungkinkeun disipasi panas anu langkung saé, ngahasilkeun efisiensi sareng reliabilitas anu ningkat. Kadua, wafer silikon karbida penting pisan dina widang panalungtikan pikeun pamekaran bahan sareng alat énggal. Salaku tambahan, wafer silikon karbida mendakan aplikasi anu lega dina widang optoéléktronik, kalebet manufaktur LED sareng dioda laser.
Spésifikasi Produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci ieu miboga diaméter 6 inci (kira-kira 152,4 mm). Kasar permukaanana nyaéta Ra < 0,5 nm, sareng ketebalanna 600 ± 25 μm. Substrat ieu tiasa disaluyukeun nganggo konduktivitas tipe-N atanapi tipe-P, dumasar kana kabutuhan konsumén. Leuwih ti éta, éta nunjukkeun stabilitas mékanis anu luar biasa, sanggup nahan tekanan sareng geteran.
| Diaméter | 150±2.0mm(6 inci) | ||||
| Kandel | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientasi | Dina sumbu: <0001>±0.5° | Sumbu kaluar:4.0° nuju 1120±0.5° | |||
| Politipe | 4H | ||||
| Résistansi (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Orientasi datar primér | {10-10}±5.0° | ||||
| Panjang datar primér (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Tepi | Talang | ||||
| TTV/Busur/Luncung (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| Hareup AFM (Si-beungeut) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Kulit jeruk/bolongan/retakan/kontaminasi/noda/garis-garis | Teu aya | Teu aya | Teu aya | ||
| lekukan | Teu aya | Teu aya | Teu aya | ||
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci mangrupikeun bahan kinerja tinggi anu seueur dianggo dina industri semikonduktor, panalungtikan, sareng optoelektronik. Éta nawiskeun konduktivitas termal anu saé, stabilitas mékanis, sareng résistansi suhu tinggi, janten cocog pikeun fabrikasi alat éléktronik kakuatan tinggi sareng panalungtikan bahan énggal. Kami nyayogikeun rupa-rupa spésifikasi sareng pilihan kustomisasi pikeun minuhan rupa-rupa paménta konsumén.Hubungi kami kanggo langkung seueur rinci ngeunaan wafer silikon karbida!
Diagram Lengkep






