6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N tipe pikeun MOS atanapi SBD Panalungtikan Produksi jeung kelas Dummy
Widang Aplikasi
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci maénkeun peran anu penting dina sababaraha industri. Anu mimiti, éta loba dipaké dina industri semikonduktor pikeun fabrikasi alat-alat éléktronik kakuatan tinggi sapertos transistor kakuatan, sirkuit terpadu, sareng modul kakuatan. Konduktivitas termal anu luhur sareng résistansi suhu anu luhur ngamungkinkeun dissipation panas anu langkung saé, nyababkeun efisiensi sareng réliabilitas. Bréh, wafers silikon carbide penting dina widang panalungtikan pikeun ngembangkeun bahan anyar jeung alat. Salaku tambahan, wafer silikon karbida mendakan aplikasi anu éksténsif dina widang optoeléktronik, kalebet manufaktur LED sareng dioda laser.
Spésifikasi produk
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci diaméterna 6 inci (kira-kira 152,4 mm). Kakasaran permukaan nyaéta Ra <0,5 nm, sareng ketebalanna 600 ± 25 μm. Substrat tiasa disaluyukeun sareng konduktivitas tipe-N atanapi P-tipe, dumasar kana syarat palanggan. Sumawona, éta nunjukkeun stabilitas mékanis anu luar biasa, sanggup nahan tekanan sareng geter.
diaméterna | 150±2.0mm(6 inci) | ||||
Kandelna | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientasi | Dina sumbu: <0001> ± 0,5 ° | Pareum sumbu: 4,0 ° nuju 1120 ± 0,5 ° | |||
Polytype | 4H | ||||
Résistansi (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | > 1E5 | ||||
Orientasi datar primér | {10-10}±5.0° | ||||
Panjang datar primér (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Ujung | Chamfer | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Hareup (Si-beungeut) | Polandia Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Kulit jeruk / liang / retakan / kontaminasi / noda / striations | Euweuh | Euweuh | Euweuh | ||
indents | Euweuh | Euweuh | Euweuh |
Substrat kristal tunggal silikon karbida 6 inci nyaéta bahan berprestasi tinggi anu seueur dianggo dina industri semikonduktor, panalungtikan, sareng optoeléktronik. Éta nawiskeun konduktivitas termal anu saé, stabilitas mékanis, sareng résistansi suhu luhur, sahingga cocog pikeun fabrikasi alat éléktronik kakuatan tinggi sareng panalungtikan bahan énggal. Kami nyayogikeun rupa-rupa spésifikasi sareng pilihan kustomisasi pikeun nyumponan tungtutan palanggan anu béda.Taroskeun kami pikeun langkung rinci ngeunaan wafer silikon karbida!